[實用新型]用于1064nm的變角窄帶濾光膜

有效

• 申請號: 201820491005.2
• 申請日: 2018-04-08
• 公開（公告）號: CN207571335U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 岳威;張闊;劉連澤;韓永昶
• 申請（專利權）人: 北京奧依特科技有限責任公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型實施例公開了一種用于1064nm的變角窄帶濾光膜，包括：F?P型多腔窄帶濾光片，所述F?P型多腔窄帶濾光片由濾光片基底，以及分別設置在濾光片基底兩面的特性相同的反射膜系構成；所述濾光片基底為HB850顏色玻璃，用于截止掉810nm以下的光譜；長波帶通濾光膜，所述長波帶通濾光膜鍍制在所述F?P型多腔窄帶濾光片的外側，用于將800nm～970nm波段的光能量截止掉。本實用新型技術固化工藝后，形成的薄膜產品針對1064nm激光工作波長，具備膜層均勻性好，高峰值透過率大于90％，高帶外抑制比小于1/1000，中心波長穩定性好，可變角度范圍為0°?20°，膜層損耗及應力小、牢固度高等優點。

技術領域

本實用新型涉及濾光膜技術領域，尤其是一種用于1064nm的變角窄帶濾光膜。

背景技術

窄帶濾光膜是一種附著于光學鏡片材料表面的介質涂層，基于干涉原理，可以在特定的波段允許光信號通過，而偏離這個波段以外的兩側光信號被抑制，窄帶濾光膜的通過波段相對較窄，一般為中心波長值的5％以下。

現有技術的窄帶濾光薄膜是針對特定單一角度入射光的情況，并且相關的濾光膜相對于其它種類的薄膜存在可變角度設計、材料選擇、損傷機理分析、均勻性和抗激光能力提升以及制備工藝方面的多個技術難點，這已經制約了激光系統性能的有效提升。

因此，現有技術需要改進。

實用新型內容

本實用新型提供一種用于1064nm的變角窄帶濾光膜，以解決上述問題。

根據本實用新型實施例的一個方面，提供的一種用于1064nm的變角窄帶濾光膜，包括：F-P型多腔窄帶濾光片，所述F-P型多腔窄帶濾光片由濾光片基底，以及分別設置在濾光片基底兩面的特性相同的反射膜系構成；

所述濾光片基底為HB850顏色玻璃，用于截止掉810nm以下的光譜；

長波帶通濾光膜，所述長波帶通濾光膜鍍制在所述F-P型多腔窄帶濾光片的外側，用于將800nm～970nm波段的光能量截止掉。

基于本實用新型的用于1064nm的變角窄帶濾光膜的另一個實施例中，所述長波帶通濾光膜選取TaO₂和SiO₂材料。

與現有技術相比，本實用新型具有如下優點：

本實用新型技術固化工藝后，形成的薄膜產品針對1064nm激光工作波長，具備膜層均勻性好，高峰值透過率大于90％，高帶外抑制比小于1/1000，中心波長穩定性好，可變角度范圍為0°-20°，膜層損耗及應力小、牢固度高等優點。

在入射角為0°時，其性能參數為：λ＝1064±3nm，峰值透過率T％>85％，半波帶寬HBW＝70nm±5nm，700-1000nm和1165-1250nm，平均透過率T％<2％；

在入射角為20°時，其性能參數為：λ＝1064±3nm，峰值透過率T％>85％，半波帶寬HBW＝70nm±5nm，700-980nm和1149-1250nm，平均透過率T％<2％。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

構成說明書的一部分的附圖描述了本實用新型的實施例，并且連同描述一起用于解釋本實用新型的原理。

參照附圖，根據下面的詳細描述，可以更加清楚地理解本實用新型，其中：

圖1為本實用新型的用于1064nm的變角窄帶濾光膜的一個實施例的結構示意圖。

圖2為本實用新型的用于1064nm的變角窄帶濾光膜的制造工藝的一個實施例的流程圖。