[實(shí)用新型]可拆卸式的不同材料組件結(jié)合型的熱蒸發(fā)舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820489408.3
• 申請日: 2018-04-09
• 公開（公告）號: CN208136323U
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯玉明;羅志永;蔡傳兵;曲蘭雪
• 申請（專利權(quán)）人: 上海大學(xué)
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 上海上大專利事務(wù)所(普通合伙) 31205
• 代理人: 顧勇華

本實(shí)用新型提供一種可拆卸式的不同材料組件結(jié)合型的熱蒸發(fā)舟，是一種經(jīng)濟(jì)高效的可拆卸式二金屬結(jié)合熱蒸發(fā)舟，能應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域中使用的加熱器具。傳統(tǒng)的一體式如全鉭的熱蒸發(fā)舟價(jià)格昂貴且電能在電極處會產(chǎn)生大量不必要消耗。本實(shí)用新型結(jié)合在高溫下電阻相對大、熔點(diǎn)高與價(jià)格便宜、熔點(diǎn)高且高溫下電阻相對較小的金屬特點(diǎn)，將前者用作蒸發(fā)舟凹槽部分的材料，后者用作電極處材料二者結(jié)合起來制成了二金屬結(jié)合可拆卸式的蒸發(fā)舟。此種蒸發(fā)舟成本低，且由于材料在高溫下的電阻屬性及電極材料厚度大于凹槽材料的厚度，可減少電能在電極處不必要損失。電極與凹槽處采用螺絲及壓片固定，當(dāng)凹槽破損后方便拆卸更換，且電極不易損壞可多次循環(huán)使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種電阻式加熱器具，特別是涉及一種電阻加熱式蒸發(fā)舟，應(yīng)用于熱蒸發(fā)技術(shù)和熱蒸發(fā)器具技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

蒸發(fā)舟的形狀不一，形態(tài)各異，但歸根結(jié)底主要是由兩部分構(gòu)成。如圖1所示為一個典型的蒸發(fā)舟示意圖，主要由一個中間下凹的深槽及加熱時與外接電源相連接的電極組成。使用時將蒸發(fā)料裝入凹槽中，然后將電極固定在加熱電源的電極固定端即可。由于制作蒸發(fā)舟的材料一般都使用耐高溫且電阻較大的金屬材料，如鎢、鉭、鉬等，所以通入一定的電流后蒸發(fā)舟會大量的發(fā)熱，當(dāng)達(dá)到所蒸發(fā)材料所需的蒸發(fā)溫度時，就會將蒸發(fā)料蒸發(fā)出去沉積到指定基板上。

傳統(tǒng)的熱蒸發(fā)舟一般都是用模具壓制而成，凹槽與電極是同種材料且為一體的。因?yàn)槔谜舭l(fā)舟蒸發(fā)材料主要是靠凹槽部分的發(fā)熱從而使蒸發(fā)料熔化達(dá)到蒸發(fā)的目的，而傳統(tǒng)的蒸發(fā)舟的缺點(diǎn)就是由于電極與凹槽部分是同種材料且為一體，所以當(dāng)電流順著電極流到凹槽部分時，有一部分電能在電極處就會產(chǎn)生消耗，最明顯直觀的就是實(shí)際應(yīng)用中電極會發(fā)紅發(fā)熱，從而造成能源的浪費(fèi)。另外，我們在利用多源共蒸發(fā)技術(shù)制備REBCO超導(dǎo)薄膜的過程中，最開始蒸發(fā)金屬單質(zhì)鋇所使用的蒸發(fā)舟材料為金屬鉭。金屬鉭的價(jià)格為4000元左右人民幣每千克，目前購買一個如圖2所示尺寸的蒸發(fā)舟價(jià)格在1500元—2000元左右人民幣，比較昂貴。金屬鉬也是一種熔點(diǎn)較高的金屬，價(jià)格大約為200元左右每千克，而如圖2同樣尺寸的一個金屬鉬蒸發(fā)舟價(jià)格就相對便宜得多，大約在200元—300元左右人民幣。但是，與鉭相比金屬鉬在高溫下電阻要小得多，達(dá)到所需要的蒸發(fā)速率時，全鉬的蒸發(fā)舟所需要的電能較全鉭的蒸發(fā)舟所需要的電能更多。其次就是，電極發(fā)熱與蒸發(fā)舟凹槽部分發(fā)熱加在一起會對真空腔體的內(nèi)的其他不耐高溫器件造成影響，甚至損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的在于克服已有技術(shù)存在的不足，提供一種可拆卸式的不同材料組件結(jié)合型的熱蒸發(fā)舟，能實(shí)現(xiàn)在使用蒸發(fā)舟蒸發(fā)材料的過程中，減小電能在電極處消耗過大造成的能源浪費(fèi)，具有低成本和電極可拆卸循環(huán)使用的優(yōu)點(diǎn)。

為達(dá)到上述實(shí)用新型創(chuàng)造目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案：

一種可拆卸式的不同材料組件結(jié)合型的熱蒸發(fā)舟，包括蒸發(fā)舟凹槽和蒸發(fā)舟電極，采用較蒸發(fā)舟凹槽材料價(jià)格便宜、熔點(diǎn)高且高溫下電阻相對小的金屬制成蒸發(fā)舟電極形狀組件，采用較蒸發(fā)舟電極材料熔點(diǎn)高且高溫下電阻相對大的金屬制成蒸發(fā)舟凹槽形狀組件，采用金屬材料制成壓片，采用壓片將蒸發(fā)舟凹槽和蒸發(fā)舟電極進(jìn)行可拆卸式的連接，為蒸發(fā)舟凹槽配套安裝可拆卸式的多孔蒸發(fā)舟蓋子。

優(yōu)選利用固定螺絲，通過螺紋連接結(jié)構(gòu)，對蒸發(fā)舟凹槽、壓片和蒸發(fā)舟電極進(jìn)行可拆卸式連接組裝。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案，在上述蒸發(fā)舟凹槽與蒸發(fā)舟電極的連接處，使用壓片將蒸發(fā)舟凹槽與蒸發(fā)舟電極壓緊后，將固定螺絲穿過蒸發(fā)舟凹槽、壓片和蒸發(fā)舟電極預(yù)先制作的并排通孔，進(jìn)行螺紋擰緊連接固定，組裝成整體式熱蒸發(fā)舟。

優(yōu)選蒸發(fā)舟電極材料厚度要大于蒸發(fā)舟凹槽材料壁厚度。

優(yōu)選蒸發(fā)舟電極材料厚度不低于0.5毫米。

優(yōu)選蒸發(fā)舟凹槽材料壁厚度不大于1.0毫米。

優(yōu)選多孔蒸發(fā)舟蓋子的小孔直徑不低于1.0毫米。