[實用新型]通用型芯片光學檢測儀

有效

• 申請號: 201820482260.0
• 申請日: 2018-04-08
• 公開（公告）號: CN208188002U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發明（設計）人: 位賢龍;張成;王麗;陳松;姚燕杰
• 申請（專利權）人: 江蘇凱爾生物識別科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型涉及一種通用型芯片光學檢測儀，其連接板的底面設有掃描相機和多個光源機構，所述掃描相機通過導線與外界電腦連接，所述底板的上表面分別設有支撐塊和第二電動伸縮桿，兩個固定桿的底端分別安裝在兩個固定桿的頂端，兩個固定桿的頂端均安裝有兩個對稱的凸塊，兩個固定桿之間的兩個位置對應的凸塊之間活動連接有活動板，兩個活動板之間相對的側面上均安裝有反光鏡，兩個第一電動伸縮桿分別安裝在兩個支撐板的側面，兩個第一電動伸縮桿的頂端均設有安裝板。本實用新型通用型芯片光學檢測儀提高LED燈燈光照射的強度，從而通過與掃描相機的配合工作，便于根據不同芯片的厚度檢測出芯片是否存在漏點或溢膠等問題。

技術領域

本實用新型涉及通用型芯片光學檢測儀技術領域，尤其涉及一種通用型芯片光學檢測儀。

背景技術

現代工業中對制造芯片精度要求越來越高，芯片在制造過程中，一般經過光學顯影時檢查芯片是否存在漏點或溢膠的問題，這些缺陷在合成為多層板后，會因無法修復而導致成品報廢，同時由于這些缺陷非常微小，人眼觀察困難，通過人工檢測的方式對人眼傷害很大，現有的一些檢測設備在光學結構與運動結構的設計和配合上存在一些問題，例如由于受檢測物件其線路的密集程度不一樣，無法自動調整解析度，光源無法適應不同板厚等，導致圖像采集的誤差偏大或是調整不方便，造成高精度的芯片檢測會出現很大的誤報和漏測情況。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種通用型芯片光學檢測儀。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

設計一種通用型芯片光學檢測儀，包括底板，所述底板的上表面設有兩個支撐板，兩個支撐板之間連接有連接板，所述連接板的底面設有掃描相機和多個光源機構，所述掃描相機通過導線與外界電腦連接，所述底板的上表面分別設有支撐塊和第二電動伸縮桿，所述支撐塊和第二電動伸縮桿位于兩個支撐板之間，第二電動伸縮桿的一端與支撐塊的側面連接，使得支撐塊沿著底板的上表面滑動，兩個支撐板的頂端之間連接有調節機構，所述調節機構包括兩個固定桿和兩個第一電動伸縮桿，兩個固定桿的底端分別安裝在兩個固定桿的頂端，兩個固定桿的頂端均安裝有兩個對稱的凸塊，兩個固定桿之間的兩個位置對應的凸塊之間活動連接有活動板，兩個活動板之間相對的側面上均安裝有反光鏡，兩個第一電動伸縮桿分別安裝在兩個支撐板的側面，兩個第一電動伸縮桿的頂端均設有安裝板，兩個安裝板和兩個活動板之間活動連接有連接桿，所述支撐板的側面設有PLC控制器，所述PLC控制器通過導線分別與兩個第一電動伸縮桿和第二電動伸縮桿連接。

優選的，所述光源機構至少設有六個并分別位于掃描相機的兩側，所述光源機構包括LED燈燈座，所述LED燈燈座的底面設有LED燈。

優選的，所述支撐塊的底面開設有燕尾槽，所述底板的上表面安裝有與燕尾槽匹配安裝的燕尾塊，使得燕尾槽沿著燕尾塊的側面滑動。

優選的，四個所述凸塊遠離支撐板的側面開設有安裝槽，所述安裝槽的內部設有固定軸，所述固定軸上套接有連接塊，使得連接塊沿著固定軸的表面滑動，所述連接塊遠離固定軸的一端與活動板連接。

優選的，所述第一電動伸縮桿和第二電動伸縮桿均為電動推桿。

本實用新型提出的一種通用型芯片光學檢測儀，有益效果在于：通過加入調節機構，用于調節LED燈燈光的照射的范圍，提高LED燈燈光照射的強度，從而通過與掃描相機的配合工作，便于根據不同芯片的厚度檢測出芯片是否存在漏點或溢膠等問題；通過加入PLC控制器，用于對第一電動伸縮桿進行控制，從而用于調節反光鏡的角度，便于對LED等照射的強度進行強度，方便了工作人員的操作。本實用新型結構簡單、使用方便，不僅用于根據芯片的厚度檢測出芯片是否存在漏點或溢膠等問題，而且還方便工作人員的操作，提高了對芯片檢測的效率。

附圖說明

圖1為本實用新型通用型芯片光學檢測儀結構示意圖；