[實用新型]一種具有水冷結構的可控硅夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820481830.4 | 申請日： | 2018-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN207947265U | 公開（公告）日： | 2018-10-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 彭一波 | 申請（專利權）人： | 佛山市熔科工業(yè)電爐有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/32 | 分類號： | H01L23/32;H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 佛山市智匯聚晨專利代理有限公司 44409 | 代理人： | 張艷梅 |
| 地址： | 528000 廣東省佛山市順德*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可控硅 夾具 水冷結構 水冷塊 內部設置 散熱銅片 出水口 進水口 中層板 底座 本實用新型 工作效率 散熱能力 實用性能 冷卻管 密封層 水閥 位塊 左端 | ||
1.一種具有水冷結構的可控硅夾具，包括底座(1)、可控硅件(6)和中層板(11)，其特征在于：所述底座(1)的上方設置有下散熱銅片(2)，且下散熱銅片(2)的上方設置有水冷塊(3)，所述水冷塊(3)的左端內部設置有出水口(4)，且出水口(4)的前端安裝有連接水閥(5)，所述可控硅件(6)的上方固定有密封層(7)，且可控硅件(6)位于水冷塊(3)的上方，所述可控硅件(6)的上方設置有進水口(8)，且進水口(8)的上方設置有上散熱銅片(9)，所述進水口(8)的內部設置有冷卻管(10)，所述中層板(11)的上方左右兩端均設置有限位塊(12)，且中層板(11)位于上散熱銅片(9)，所述限位塊(12)的內部設置有螺紋絲桿(13)，且限位塊(12)的上方設置有頂蓋(14)，所述頂蓋(14)的上方設置有固定螺母(15)，且頂蓋(14)的左右兩端內部均安裝有連接螺栓(16)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種具有水冷結構的可控硅夾具，其特征在于：所述底座(1)的上端表面與下散熱銅片(2)的下端表面之間相互貼合，且下散熱銅片(2)的上端表面與水冷塊(3)的下端表面相互貼合。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種具有水冷結構的可控硅夾具，其特征在于：所述水冷塊(3)設置有2個，且水冷塊(3)分別位于可控硅件(6)的上下兩側，同時水冷塊(3)之間通過冷卻管(10)相連接。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種具有水冷結構的可控硅夾具，其特征在于：所述下方的水冷塊(3)的前端設置有出水口(4)，且上方的水冷塊(3)的前端設置有進水口(8)，同時出水口(4)和進水口(8)的前端均安裝有連接水閥(5)。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種具有水冷結構的可控硅夾具，其特征在于：所述上散熱銅片(9)設置為“L”形彎折狀結構，且上散熱銅片(9)的下端表面與上方水冷塊(3)的上端表面相互貼合，同時螺紋絲桿(13)的下端貫穿于上散熱銅片(9)的內部與水冷塊(3)之間為焊接。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種具有水冷結構的可控硅夾具，其特征在于：所述連接螺栓(16)自上而下依次貫穿頂蓋(14)和中層板(11)的內部，且頂蓋(14)通過連接螺栓(16)與底座(1)相連接，同時頂蓋(14)、可控硅件(6)以及底座(1)三者的中軸線相互重合。
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