[實(shí)用新型]一種硅片切割液冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820468968.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN208263221U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳昌皂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇鵬程化工有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/02
• 分類號(hào): B28D7/02
• 代理公司: 連云港潤(rùn)知專利代理事務(wù)所 32255
• 代理人: 王彥明

1.一種硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：該裝置包括噴液機(jī)構(gòu)和冷卻機(jī)構(gòu)，噴液機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在硅片切割機(jī)上的支撐柱，支撐柱通過(guò)旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)安裝在硅片切割機(jī)上，支撐柱四周的側(cè)壁上滑動(dòng)設(shè)置有若干用于對(duì)硅片進(jìn)行噴灑切割液的切割液噴頭；所述冷卻機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在硅片切割機(jī)下部的收集斗，收集斗內(nèi)設(shè)置有切割液過(guò)濾筒，收集斗的下斗口連通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套裝有冷卻箱，冷卻箱的下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口，進(jìn)風(fēng)口處設(shè)有冷風(fēng)機(jī)，冷卻箱的上部設(shè)有出風(fēng)口；該裝置還包括切割液收集槽，螺旋出液管均與切割液收集槽連通，切割液收集槽外包裹有通有冷卻水的冷卻腔，切割液噴頭通過(guò)導(dǎo)液管與切割液收集槽的下部連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液噴頭上安裝有升降電機(jī)，支撐柱上豎向設(shè)置有與升降電機(jī)配合的升降槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和升降氣缸，升降氣缸固定安裝在硅片切割機(jī)上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在升降氣缸的輸出端，支撐柱安裝在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液噴頭設(shè)有4個(gè)，4個(gè)切割液噴頭沿支撐柱的周向均勻設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液過(guò)濾筒內(nèi)設(shè)置有一個(gè)獨(dú)立的過(guò)濾腔室，過(guò)濾腔室的底部設(shè)有與切割過(guò)濾筒連通的進(jìn)液口，過(guò)濾腔室上部的側(cè)部設(shè)有將切割液排出切割液過(guò)濾筒的出液口，過(guò)濾腔室的中部橫向設(shè)置有切割液過(guò)濾網(wǎng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片切割液冷卻裝置，其特征在于：所述切割液過(guò)濾網(wǎng)設(shè)有3個(gè)，3層切割液過(guò)濾網(wǎng)上下層疊設(shè)置，3層切割液過(guò)濾網(wǎng)的網(wǎng)孔由下至上依次減小。