[實用新型]一種MEMS電容式加速度計接口電路有效
| 申請號： | 201820462537.3 | 申請日： | 2018-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN208174658U | 公開（公告）日： | 2018-11-30 |
| 發明（設計）人： | 齊敏;孫泉;喬東海 | 申請（專利權）人： | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號： | H03K19/0175 | 分類號： | H03K19/0175 |
| 代理公司： | 北京億騰知識產權代理事務所 11309 | 代理人： | 陳霽 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產生電路 正參考電壓 共模電壓 輸入電源電壓 線性穩壓器 低噪聲 升壓電荷泵 電容式加速度計 讀出裝置 接口電路 本實用新型 前置放大器 敏感單元 轉化 | ||
1.一種MEMS電容式加速度計接口電路，包括敏感單元和讀出裝置；其特征在于，所述讀出裝置包括：開關、前置放大器和正參考電壓以及共模電壓產生電路；所述正參考電壓以及共模電壓產生電路包括升壓電荷泵以及第一低噪聲線性穩壓器LDO1和第二低噪聲線性穩壓器LDO2；其中，所述第一低噪聲線性穩壓器LDO1和升壓電荷泵構成正參考電壓產生電路，所述第二低噪聲線性穩壓器LDO2和升壓電荷泵構成共模電壓產生電路；其中，
所述正參考電壓產生電路，用于產生一個相對于低輸入電源電壓兩倍或者更高的高壓，并將所述相對于低輸入電源電壓兩倍或者更高的高壓轉化為相當于低輸入電源電壓兩倍的正參考電壓；
所述共模電壓產生電路，用于產生一個相對于低輸入電源電壓兩倍或者更高的高壓，并將所述相對于低輸入電源電壓兩倍或者更高的高壓轉化為相當于低輸入電源電壓一半的共模電壓。
2.根據權利要求1所述的接口電路，其特征在于，所述的正參考電壓產生電路的輸出和地分別作為MEMS敏感單元的正負參考電壓，所述的共模電壓產生電路的輸出作為MEMS敏感單元和前置放大器的共模電壓。
3.根據權利要求1所述的接口電路，其特征在于，所述前置放大器通過低輸入電源供電，采用高性能的低壓MOS管設計。
4.根據權利要求1所述的接口電路，其特征在于，所述接口電路應用于低功耗開環或者閉環加速度計接口電路。
5.根據權利要求1所述的接口電路，其特征在于，還包括MEMS敏感單元,所述MEMS敏感單元輸出信號為電容的變化信號。
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