[實用新型]一種單片太陽能電池片邊緣刻蝕用防擠壓夾具

有效

• 申請號: 201820452329.5
• 申請日: 2018-04-02
• 公開（公告）號: CN207925503U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 謝毅;謝泰宏;周丹;張冠綸;張忠文
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/683
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 張璽

本實用新型公開了一種單片太陽能電池片邊緣刻蝕用防擠壓夾具，包括基板、夾設裝置以及固定裝置，所述夾設裝置和固定裝置均設置于基板上；夾設裝置，包括夾板、底板以及按鈕開關，所述夾板固定于基板上，所述夾板一側側壁開設有安裝槽和開關槽，所述安裝槽內固定有電動推桿一，所述按鈕開關活動插設于開關槽內，所述按鈕開關固定于彈簧上；固定裝置包括移動板、保護罩以及真空吸盤，所述電動推桿二和真空吸盤均電性連接于控制面板上。本實用新型可以將無法直接堆疊夾設的單片電池片進行固定夾設，從而在不會夾碎電池片以及不會破壞電池片表面PN結的情況下，合理有效地進行邊緣刻蝕，大大提高了工作效率，也避免了大量的經濟損失。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，具體為一種單片太陽能電池片邊緣刻蝕用防擠壓夾具。

背景技術

在太陽能電池片制作工藝步驟如下：1、制絨，將硅片表面腐蝕成金字塔狀的形貌；2、擴散，硅片表面形成PN結；3、刻蝕，將硅片邊緣的PN結去掉，防止電池短路；4、去PSG，清洗硅片表面，去除二氧化硅層；5、PECVD，在硅片表面鍍一層減反射膜；6、印刷燒結，印刷電極及背場，并烘干燒結。

面對全球能源危機，太陽能光伏發電技術已經成為半導體行業的新的發展熱點，晶硅太陽能電池制造分為制絨、擴散、等離子刻蝕、PSG清洗、PECVD鍍膜、絲網印刷、燒結等工序，而擴散工藝會導致硅片邊緣出現N型結層，會導致電池正負電極出現N型導通通路，影響太陽能電池的發電效率，因此需要將該層物質去除。

等離子刻蝕工藝是一種常用的刻蝕方法，該工藝是在輝光放電條件下將氣體CF4激發成等離子體，對硅片周邊進行刻蝕。等離子刻蝕是目前產業常用的刻蝕方法之一，其原理為采用CF4和O2作為反應氣體，將硅片疊放在一起后，讓裸露出來的邊緣的硅材料和反應氣體反生反應，最終起到邊緣刻蝕的效果，打斷電池正負兩級的導通通路。從刻蝕的原理可看出，刻蝕夾具是影響刻蝕效果的重要因素，夾具對硅片的施壓太大會導致硅片碎裂，施壓太小或者不均勻會導致反應氣體滲透至硅片上下表面，對不需要刻蝕的區域造成損傷，影響發電效率。傳統夾具結構簡單，刻蝕效果不穩定，刻蝕夾具結構為采用兩塊金屬矩形板，金屬板兩相對邊連接有金屬螺桿，兩側通過螺桿和螺栓將兩塊金屬板間的硅片夾緊。

現有技術中申請號為201120531290.4的“一種太陽能電池片的刻蝕夾具”、申請號為201110309173.8的“一種晶硅太陽能電池干法刻蝕夾具”以及申請號為201621296389.X的“一種晶硅太陽能電池片的刻蝕夾具”這三個申請文件均可以解決傳統夾具的缺陷，這三種夾具均是通過先將電池片堆疊放置于兩塊夾板之間，然后放入等離子刻蝕機內進行邊緣刻蝕。

但是上述的申請文件在進行邊緣刻蝕時，還存在較為明顯的缺陷：1、雖然可以使電池片在夾設時受力更加均勻，但是一批電池片中仍然會存在少部分電池片表面過于光滑，無法很好的與其余電池片完成堆疊夾設，容易發生滑動，此時需要將這部分電池片選出，單獨進行邊緣刻蝕，但是由于表面更光滑，夾具提供的力度必須更大，則更容易造成電池片損壞，產生經濟損失；2、使用夾具對電池片進行堆疊夾設，一定會對電池片上表面的PN結造成磨損，從而影響電池片的光電轉換效率，造成不必要的損失。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種單片太陽能電池片邊緣刻蝕用防擠壓夾具，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種單片太陽能電池片邊緣刻蝕用防擠壓夾具，包括基板、夾設裝置以及固定裝置，所述夾設裝置和固定裝置均設置于基板上；

夾設裝置，包括夾板、底板以及按鈕開關，所述夾板固定于基板上，所述夾板一側側壁開設有安裝槽和開關槽，所述安裝槽設置于基板和開關槽之間，所述安裝槽內固定有電動推桿一，所述底板活動插接于安裝槽內，且底板固定于電動推桿一桿體上，所述開關槽內固定有彈簧，所述按鈕開關活動插設于開關槽內，所述按鈕開關固定于彈簧上，所述按鈕開關與電動推桿一電性連接；