[實用新型]一種太陽能曝光機UVLED專用光源系統

有效

• 申請號: 201820452021.0
• 申請日: 2018-04-01
• 公開（公告）號: CN208334905U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 石利
• 申請（專利權）人: 無錫旭電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

本實用新型公開了一種太陽能曝光機UVLED專用光源系統，包括燈源模組，驅動機構，基座，所述燈源模組設置在基座上，所述驅動機構設置在基座上，所述驅動機構安裝在驅動機構旁，所述驅動機構由傳動帶與燈源模組連接；所述燈源模組包括紫外LED光源，移動架，所述紫外LED光源設置在移動架上，所述基座為長方形框架，包括導軌，所述導軌為長方條形，所述移動架滑動安裝安裝在所述基座的導軌上，此實用新型針對太陽能曝光機需要的高強度，高解析度，高效率的應用，采用大功率LED芯片配合專業開發的二次光學鏡頭，得到高光強的平行光源，很好的滿足了太陽能硅片曝光的需求，且此套系統LED燈使用壽命長，發熱量小，耗電量小。

技術領域

本實用新型屬于曝光機領域，尤其涉及一種太陽能曝光機UVLED專用光源系統。

背景技術

曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。曝光機是20世紀60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發展起來，70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業。

在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。紫外線曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的機器設備。

LED紫外線曝光機(UV LED曝光機)特點：1、LED讓墨水深層固化-LED燈發出的光波長能夠讓墨水深層固化，因此不會發生印品表面已干但底層不干的情況。在各種介質上印刷都有很強的黏附性和抗刮劃性。2、省電節能，減低成本-LED發光達到某種亮度時所消耗的能量只有15瓦左右，而傳統的燈達到同樣亮度要消耗1500瓦的能量，即使與UV鹵素燈相比，也可節省80％的能源，因此LED燈非常節能環保。3、穩定性高-UV噴墨印刷機的印刷質量跟UV干燥固化的過程有莫大關系，LED燈的穩定性使得輸出的能量是可預見的、穩定的，因此印刷效果同樣是可預見的、穩定的。4、燈源系統保用 3年，使用壽命長-LED燈壽命超過2萬小時。5安全性高-LED燈沒有UVC射線，沒有臭氧釋放，也不易破損。6、更廣泛的應用范圍-LED燈的發光不是紅外線加熱，發放的熱力較低，因而不會影響那些容易受熱而變形的介質(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷過程中的傳送。這樣，介質的應用范圍就更加廣泛了。7、反應(開關)時間快-LED燈不需要預熱，可以開機后立即印刷，生產力得以提高。

在申請號為：CN201310481112.9，申請日為:20131016名稱為：一種新型的LED紫外曝光機光源系統的專利中，公開了一種UVLED網板曝光機，其包括：機臺腔體，內設有光源組件，所述光源組件可滑移設置在所述機臺腔體內，所述光源組件的上端設置出光鏡面，所述出光鏡面用于放置形成有電路布線圖案的底片，待曝光的網板則可放置于該底片上方，所述光源組件由若干陣列設置的LED組成；機臺上蓋，一端樞接所述機臺腔體，所述機臺上蓋可樞轉而貼合所述機臺腔體，以形成收容所述網板與所述底片的曝光空間；吸真空裝置，可抽取上述曝光空間內的氣體，并使所述機臺上蓋緊密貼合所述機臺腔體, 通過采用LED陣列設置，并將該LED陣列進行滑移設置，來實現光源的照射均勻，且可避免光照不均勻可能導致的曝光圖案線條寬度不一致，影響使用。

發明內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供一種太陽能曝光機UVLED 專用光源系統。

本實用新型的的目的可以通過以下技術方案來實現：

一種太陽能曝光機UVLED專用光源系統，包括燈源模組1，驅動機構2，基座3，所述燈源模組1設置在基座3上，所述驅動機構2 設置在基座3上，所述驅動機構2安裝在驅動機構2旁，所述驅動機構2由傳動帶與燈源模組1連接；