[實用新型]適用于5寸外延片的石墨頂蓋

有效

• 申請號: 201820435548.2
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN208266303U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 魏建宇;王銀海;潘文賓
• 申請（專利權）人: 南京國盛電子有限公司
• 主分類號: C30B25/08
• 分類號: C30B25/08
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張婧

本實用新型公開了一種適用于5寸外延片的石墨頂蓋，包括多邊形蓋板以及位于該多邊形蓋板下表面的與外延基座相適配的圓形凸臺，所述多邊形蓋板的每一棱邊具有一用于分散氣流的擋塊。本實用新型在原有正八邊形蓋板的基礎上，在其每一棱邊處增設一用于分散氣流的擋塊，從而改善了氣流的流向分布，在降低上片外延片上點厚度值的同時，提高了斜45°角方向的厚度值。

技術領域

本實用新型涉及石墨頂蓋，尤其涉及一種適用于5寸外延片的石墨頂蓋。

背景技術

PE 2061S機臺采用的是桶式石墨基座做為高頻感應加熱體，其石墨基座的使用是配套一個石墨頂蓋和石墨底盤共同使用的。腔體內部桶式石墨基座具體擺放模式，如圖1所示。石墨基座與石墨頂蓋的相對擺放位置示意圖，如圖2所示。現有技術中的頂蓋的平面樣式，如圖3所示。

在此種配套的石墨基座模式下，外延片在生長過程中，反應腔內的氣流分布出現不均衡，會導致上片片坑(基座上、中、下片坑的定義，如圖2所示)的外延片上點(片內厚度參數測試點的示意圖，如圖4所示)厚度值較高，而斜45°角方向(左上、右上)的厚度值較低，從而使外延片片內的厚度一致性較差。而常規的工藝調試，在提高斜45°角方向(左上、右上)的厚度值時，會使上點的厚度值更高，無法滿足外延片的質量要求。

因此，亟待解決上述問題。

實用新型內容

實用新型目的：本實用新型的目的是提供一種可提高上片坑外延片的厚度，保障片坑外延片的厚度一致性的適用于5寸外延片的石墨頂蓋。

技術方案：為實現以上目的，本實用新型所述的一種適用于5寸外延片的石墨頂蓋，包括多邊形蓋板以及位于該多邊形蓋板下表面的與外延基座相適配的圓形凸臺，所述多邊形蓋板的每一棱邊具有一用于分散氣流的擋塊。

其中，所述多邊形蓋板為正八邊形蓋板，每一棱邊向外側延伸形成一三角形狀的擋塊。

優選的，所述三角形狀的擋塊為等腰三角形，該等腰三角形的頂點位于每一棱邊的中心線上。

再者，所述等腰三角形的的頂角為60°～135°

進一步，所述等腰三角形的的頂角為135°。

優選的，所述正八邊形蓋板與其上所具有的三角形狀的擋塊形成一32邊形蓋板，該32邊形蓋板的每一邊長度相同。

優選的，所述外延基座為桶式石墨基座。

有益效果：與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：首先本實用新型在原有正八邊形蓋板的基礎上，在其每一棱邊處增設一用于分散氣流的擋塊，從而改善了氣流的流向分布，在降低上片外延片上點厚度值的同時，提高了斜45°角方向的厚度值；此外擋塊設置為等腰三角形，其頂角為60°～135°，其角度設置的目的是用于阻擋氣流垂直落下的同時將氣流兩側分散，且分散的均勻性最佳，從而進一步保障片坑外延片的厚度一致性。

附圖說明

圖1為本實用新型腔體內部石墨基座放置示意圖；

圖2為本實用新型石墨基座與石墨頂蓋相對擺放位置示意圖；

圖3為現有技術中5寸石墨頂蓋平面圖；

圖4為本實用新型片內厚度參數測試點的示意圖；

圖5為本實用新型5寸石墨頂蓋平面圖；

圖6為本實用新型5寸石墨頂蓋的截面圖；

圖7為采用現有技術中石墨頂蓋得出的外延片厚度一致性實驗數據；

圖8為采用本實用新型石墨頂蓋得出的外延片厚度一致性實驗數據。

具體實施方式