[實用新型]二維測微裝置以及系統

有效

• 申請號: 201820435368.4
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN208171298U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 丁杰
• 申請（專利權）人: 中鐵十一局集團第二工程有限公司;中鐵十一局集團有限公司
• 主分類號: G01D5/28
• 分類號: G01D5/28
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王文紅

本實用新型實施例提供的一種二維測微裝置以及系統，包括光信號發射裝置、多元光信號捕捉板、接收透鏡、反射鏡、可視化顯示屏以及光電信號放大裝置；所述光信號發射裝置設置在所述反射鏡與所述接收透鏡之間，所述反射鏡用于承載待測物，所述接收透鏡與所述多元光信號捕捉板連接，所述光電信號放大裝置分別與所述多元光信號捕捉板以及所述可視化顯示屏電連接；所述光信號發射裝置的光信號頻率與所述多元光信號捕捉板的接收頻率相同。該二維測微裝置以及系統其能夠實現對待測物二維方向上的變形測定。

技術領域

本實用新型涉及精密儀器領域，具體而言，涉及一種二維測微裝置以及二維測微系統。

背景技術

電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，例如，檢查工件的厚度、內徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應用于精密機械制造業、晶體管和集成電路制造業以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。然而，傳統的電感測微儀并不能實現二維方向上的變形測定。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種二維測微裝置以及系統，其能夠實現對待測物二維方向上的變形測定。

本實用新型的實施例是這樣實現的：

第一方面，本實用新型實施例提供一種二維測微裝置，其包括光信號發射裝置、多元光信號捕捉板、接收透鏡、反射鏡、可視化顯示屏以及光電信號放大裝置；所述光信號發射裝置設置在所述反射鏡與所述接收透鏡之間，所述反射鏡用于承載待測物，所述接收透鏡與所述多元光信號捕捉板連接，所述可視化顯示屏分別與所述多元光信號捕捉板以及所述光電信號放大裝置電連接；所述光信號發射裝置的光信號頻率與所述多元光信號捕捉板的接收頻率相同。

在本實用新型較佳的實施例中，所述光電信號放大裝置包括依次耦合的前置放大電路、解調電路、后級直流放大和調制波發生電路。

在本實用新型較佳的實施例中，所述前置放大電路為差分放大電路。

在本實用新型較佳的實施例中，所述多元光信號捕捉板包括多個依次耦合的光柵回路。

在本實用新型較佳的實施例中，所述光柵回路為可以為光纖式光柵回路。

在本實用新型較佳的實施例中，所述光柵回路可以為液晶狹縫光柵回路。

在本實用新型較佳的實施例中，所述光信號發射裝置的光信號頻率范圍是380－790THz。

在本實用新型較佳的實施例中，所述可視化顯示屏可以為LED式顯示屏。

在本實用新型較佳的實施例中，所述可視化顯示屏可以為LCD式顯示屏。

第二方面，本實用新型實施例提供一種二維測微系統，所述二維測微系統包括上述實施例中任一所述的二維測微裝置以及待測物，所述待測物放置在所述反射鏡上。

本實用新型實施例的有益效果是：本實用新型實施例提供了一種二維測微裝置以及系統，包括：光信號發射裝置、多元光信號捕捉板、接收透鏡、反射鏡、可視化顯示屏以及光電信號放大裝置；所述光信號發射裝置設置在所述反射鏡與所述接收透鏡之間，所述反射鏡用于承載待測物，所述接收透鏡與所述多元光信號捕捉板連接，所述可視化顯示屏分別與所述多元光信號捕捉板以及所述光電信號放大裝置電連接；所述光信號發射裝置的光信號頻率與所述多元光信號捕捉板的接收頻率相同。在待測物上放置的反射鏡發射光信號發射裝置發射的光源信號，經反射到多元光信號捕捉板上，形成初始電流信號，當反射鏡隨待測物的變形而移動時，反射的光信號發生偏移，電流信號發生改變，通過光電信號放大裝置進行放大后，可以通過可視化顯示屏計算得出待測物在二維方向上的位移量。

本實用新型的其他特征和優點將在隨后的說明書闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型實施例而了解。本實用新型的目的和其他優點可通過在所寫的說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。