[實用新型]基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置有效
| 申請號： | 201820428537.1 | 申請日： | 2018-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN207994020U | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 劉澤文;龔著浩;張玉龍 | 申請（專利權）人： | 蘇州希美微納系統有限公司 |
| 主分類號： | H01P1/10 | 分類號： | H01P1/10;H01P5/12;B81B7/00 |
| 代理公司： | 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 32289 | 代理人： | 陳曉瑜 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波傳輸線 襯底 共面波導傳輸線 大功率射頻 功率容量 合路結構 開關結構 地線 分合 射頻信號功率 本實用新型 前端設置 趨膚效應 驅動結構 懸浮結構 直接并聯 左右兩側 懸浮地 合路 射頻 架設 有功 分配 | ||
1.基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，包括有襯底(9)，其特征在于：所述襯底(9)上方分布有微波傳輸線(5)，所述微波傳輸線(5)的左右兩側設置有第一共面波導傳輸線地線(6)與第二共面波導傳輸線地線(10)，所述微波傳輸線(5)的前端設置有功分結構(1)，所述微波傳輸線(5)的后端設置有合路結構(2)，所述微波傳輸線(5)的上方架設有懸浮結構，所述功分結構(1)、合路結構(2)之間設置有開關結構，所述微波傳輸線(5)、襯底(9)之間設置有驅動結構。
2.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述懸浮結構包括有懸浮地(4)，所述懸浮地(4)設置在開關結構之間，所述懸浮地(4)的左右兩端均設置有空氣橋(3)，所述空氣橋(3)還與第一共面波導傳輸線地線(6)、第二共面波導傳輸線地線(10)相連。
3.根據權利要求2所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述空氣橋(3)為橋形結構，所述橋形結構的底部與懸浮地(4)相連，所述橋形結構的頂部分叉與第一共面波導傳輸線地線(6)、第二共面波導傳輸線地線(10)相連。
4.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述功分結構(1)為T型結構造，或是為Y型結構造；所述合路結構(2)為T型結構造，或是為Y型結構造。
5.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述開關結構為MEMS開關結構(7)。
6.根據權利要求5所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述MEMS開關結構(7)為串聯式開關，或是為并聯式開關，或是為電容式開關，或是為電阻式開關。
7.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述驅動結構為MEMS開關驅動電極(8)，所述MEMS開關驅動電極(8)包括下極板、引線、外接焊盤相互連接構成。
8.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述襯底(9)為玻璃式襯底(9)，或是為陶瓷式襯底(9)，或是為高阻硅式襯底(9)。
9.根據權利要求1所述的基于功分合路結構的大功率射頻MEMS開關裝置，其特征在于：所述微波傳輸線(5)為共面波導傳輸線，或是為微帶線。
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