[實用新型]一種柔性襯底的吸盤裝置

有效

• 申請號: 201820426436.0
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN208245101U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 邱任拯
• 申請（專利權）人: 邱任拯
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;F16B47/00
• 代理公司: 廣州廣信知識產權代理有限公司 44261
• 代理人: 李玉峰

1.一種柔性襯底的吸盤裝置，其特征在于：包括支撐體(3)和吸附板面(4)；所述吸附板面(4)位于支撐體(3)的上表面，吸附板面(4)上設置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均勻排布形成的微孔陣列，所述吸附微孔(4a)的孔徑小于2mm。

2.根據權利要求1所述的柔性襯底的吸盤裝置，其特征在于：所述吸附板面(4)與支撐體(3)呈一體式。

3.根據權利要求1所述的柔性襯底的吸盤裝置，其特征在于：所述吸附板面(4)與支撐體(3)呈分體式；所述支撐體(3)上設有安裝槽(3a)，所述吸附板面(4)嵌設在安裝槽(3a)內，且與支撐體(3)呈間隔設置而形成真空腔(5)；所述真空腔(5)內、吸附板面(4)與支撐體(3)之間均布有一個或一個以上呈環狀的支撐凸起(3c)；所述支撐凸起(3c)上設有缺口；所述支撐體(3)上設置有將真空腔(5)與真空泵連接的通孔(3b)。

4.根據權利要求3所述的柔性襯底的吸盤裝置，其特征在于：所述支撐凸起(3c)為六邊形環狀，且拼接形成蜂窩網格狀結構。