[實用新型]一種高純銅旋轉靶的外圓拋光設備

有效

• 申請號: 201820425795.4
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN208100042U
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 伍溫良
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: B24B21/02
• 分類號: B24B21/02;B24B21/18;B24B21/20
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

本實用新型公開了一種高純銅旋轉靶的外圓拋光設備，包括機架、裝夾裝置和拋光裝置，裝夾裝置和拋光裝置分別安裝于機架之上，拋光裝置包括有一滑動底座和橫向驅動機構，滑動底座滑動安裝于機架，橫向驅動機構傳動連接滑動底座，滑動底座的上部旋轉安裝有一擺臂，擺臂安裝有能夠替換使用的拋光帶，擺臂安裝有拋光電機，拋光電機傳動連接拋光帶，以實現拋光帶循環移動，使用具有橫向調節功能的拋光裝置，實現長度較長的旋轉靶材的整管拋光；利用拋光電機驅動可替換使用的拋光帶發生循環移動，以對旋轉靶材的靶材表面進行均勻且精度高的拋光打磨。

技術領域

本實用新型涉及旋轉靶的加工設備的技術領域，尤其是涉及一種高純銅旋轉靶的外圓拋光設備。

背景技術

旋轉靶材的靶材表面粗糙度對磁控濺射的成膜速度和均勻性影響很大，目前，一般通過工人手工拋光旋轉靶材的靶材表面，存在著勞動強度大，拋光不均勻，拋光精度低，拋光效率低的問題，尤其缺乏針對長度較長的旋轉靶材的精密拋光設備，因此有必要予以改進。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種高純銅旋轉靶的外圓拋光設備，實現全自動拋光旋轉靶材，拋光精度高，生產效率高。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是，使用具有橫向調節功能的拋光裝置，實現長度較長的旋轉靶材的整管拋光；利用拋光電機驅動可替換使用的拋光帶發生循環移動，以對旋轉靶材的靶材表面進行均勻且精度高的拋光打磨。

一種高純銅旋轉靶的外圓拋光設備，包括機架、用于裝夾旋轉靶的裝夾裝置和拋光裝置，裝夾裝置和拋光裝置分別安裝于機架之上，拋光裝置包括有一滑動底座和橫向驅動機構，滑動底座滑動安裝于機架，橫向驅動機構傳動連接滑動底座，滑動底座的上部旋轉安裝有一擺臂，擺臂安裝有能夠替換使用的拋光帶，擺臂安裝有拋光電機，拋光電機傳動連接拋光帶，以實現拋光帶循環移動。

在進一步的技術方案中，該擺臂安裝有若干導輪，該拋光帶緊套于各導輪的外緣，形成拋光段，該拋光電機傳動連接于導輪，用于驅動導輪轉動以帶動拋光帶循環移動。

在進一步的技術方案中，該滑動底座的上部固定有一支柱，該擺臂的中部樞接于支柱的中部或上部，擺臂的第一端固定有該拋光電機，擺臂的第二端設置有配重裝置，配重裝置放置有至少一配重砝碼，擺臂的中部設置有一向下折角，折角處旋轉安裝有一該導輪，折角兩端分別旋轉安裝有一導輪，選其折角兩端導輪之間的該拋光帶段為該拋光段，擺臂受配重砝碼的重力作用下，其第二端發生以擺臂的樞接點為轉軸的向下運動，致使拋光段下壓至旋轉靶的靶材的表面；拋光力度根據選用的配重砝碼的重量而進行調節。

在進一步的技術方案中，該滑動底座包括拋光小車，拋光小車的底部旋轉安裝有若干導輪，該機架的上部設置有橫向導軌，橫向導軌前端和后端分別延伸至機架的兩端，導輪滑動安裝于橫向導軌，滑動底座用于調節旋轉靶的拋光位置，滑動底座具有滑動在機架的兩端之間的功能，使該拋光設備能夠對旋轉靶進行整管打磨；

該橫向驅動機構包括行走調節電機和行走變速器，行走調節電機固定于機架，行走變速器固定于橫向導軌的一端，行走調節電機帶傳動于行走變速器，行走變速器鏈傳動于拋光小車，用作驅動滑動底座滑動于機架的兩端之間。

在進一步的技術方案中，該橫向導軌的旁側設置有該裝夾裝置，包括調節座和定心支架，定心支架固定于該機架的上部的一端，調節座滑動安裝于該機架的上部，調節座朝向定心支架旋轉安裝有一裝夾頭，定心支架朝向調節座旋轉安裝有一卡盤，裝夾頭和卡盤之間形成一用于裝夾背管的旋轉靶裝夾空間，調節座的外側旋轉安裝有一轉盤，轉盤傳動連接于裝夾頭，用于驅動裝夾頭朝向卡盤伸出設定距離，以實現夾緊相應放置旋轉靶的背管。