[實用新型]一種激光化學晶圓平坦化加工裝置

有效

• 申請號: 201820421484.0
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN208256622U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 蘇晉苗;蘇冠暐
• 申請（專利權）人: 蘇晉苗
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：包括晶圓固定與操作整合裝置、晶圓進出端口、化學品注入裝置、位移與傳動裝置、清洗與干燥裝置、激光與控制裝置，所述晶圓進出端口連接晶圓固定與操作整合裝置，輸入晶圓加工并于完成加工后輸出晶圓，所述化學品注入裝置連接晶圓固定與操作整合裝置，所述位移與傳動裝置連接晶圓固定與操作整合裝置，所述清洗與干燥裝置連接晶圓固定與操作整合裝置，所述激光與控制裝置連接晶圓固定與操作整合裝置。

2.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述晶圓固定與操作整合裝置包括平坦化操作臺、晶圓固定維持環、存取機械手臂、潔凈正壓操作環境裝置。

3.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述晶圓進出端口包括晶圓輸入與輸出端口的晶圓輸送載具界面。

4.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述化學品注入裝置包括化學品供應桶槽、注入滴頭，以及流量控制裝置與系統。

5.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述位移與傳動裝置包括定位、對準、位移電動機、轉動電動機、變速器、轉速控制、制動器。

6.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述清洗與干燥裝置包括超純水、二氧化碳、有機溶劑，及其流量、壓力控制系統，以及潔凈干燥熱空氣、氮氣供應系統，及其溫度、時間、風量控制裝置。

7.根據權利要求1所述的一種激光化學的晶圓平坦化加工裝置，其特征在于：所述激光與控制裝置包括激光光源、電源供應器、光束引導裝置、掃描器、反射鏡、透鏡、以及頻率、能量、多波長輸出、偵測、控制系統。