[實用新型]一種晶體生長爐真空管冷卻機構

有效

• 申請號: 201820408013.6
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN208023113U
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 翟海峰
• 申請（專利權）人: 福州克雷斯試驗設備有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體生長爐真空管冷卻機構，包括兩塊豎板（1），其特征在于：所述豎板（1）的外側壁上固定連接有擋板（2），兩塊所述豎板（1）之間固定連接有橫板（3），所述橫板（3）上螺紋連接有螺紋桿（4），所述螺紋桿（4）的上端固定連接有轉動板（5），所述螺紋桿（4）的下端轉動連接有控制塊（6），所述控制塊（6）滑動連接在豎板（1）的側壁上，所述控制塊（6）的上端固定連接有彈簧（7），所述彈簧（7）的上端固定連接在橫板（3）的下表面，所述控制塊（5）內設有控制腔，所述控制腔的側壁上設有多個第一散熱孔，所述控制腔的側壁上固定連接有多個裝有冷卻液的冷卻瓶（8），所述控制腔的側壁上固定連接有帶多個第二散熱孔的導熱板（9），所述導熱板（9）的上表面與冷卻瓶（8）的側壁相接觸，所述控制腔的側壁上設有出風槽（10），所述出風槽（10）的側壁上固定連接有散熱風扇（11），所述出風槽（10）的側壁上設有多個出風孔（12），兩塊所述豎板（1）之間設有多個真空管（13）。

2.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐真空管冷卻機構，其特征在于：所述橫板（3）上設有螺紋孔，所述螺紋桿（4）與螺紋孔相配合。

3.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐真空管冷卻機構，其特征在于：所述轉動板（5）的側壁上均布有凸起，所述凸起的橫截面為三角形。

4.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐真空管冷卻機構，其特征在于：所述橫板（3）的下表面設有凹槽，所述彈簧（7）的一端固定連接在凹槽的側壁上。

5.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐真空管冷卻機構，其特征在于：所述出風孔（12）的橫截面為圓形，所述出風孔（12）的內徑值大于真空管（13）的外徑值。

6.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐真空管冷卻機構，其特征在于：所述散熱風扇（11）的側壁上固定連接有固定板，所述固定板通過多個固定螺栓固定連接在出風槽（10）的側壁上。