[實用新型]一種晶體生長用承重裝置

有效

• 申請號: 201820408004.7
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN208183108U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發明（設計）人: 翟海峰
• 申請（專利權）人: 福州克雷斯試驗設備有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于晶體生長技術領域，具體為一種晶體生長用承重裝置，包括固定板，所述固定板的上端面設有容納槽，所述容納槽的側壁上設有放置槽，且容納槽內放置有冷卻液，所述固定板內設有容納腔，所述容納腔的側壁上固定連接有電機，所述電機的輸出軸穿過容納腔的側壁并固定連接兩根攪拌桿，所述攪拌桿的側壁上固定連接有多塊豎桿，所述固定板上螺紋連接有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的一端固定連接有轉動桿，且轉動桿位于固定板的下側，本實用新型不僅能夠便于調節坩堝的高度，而且能夠快速將坩堝進行降溫，不僅利于晶體材料的溶解，也加快了晶體的生長速度，因此這種晶體生長用承重裝置值得推廣。

技術領域

本實用新型屬于晶體生長技術領域，具體為一種晶體生長用承重裝置。

背景技術

在多晶硅、單晶硅或藍寶石等晶體材料生長過程中，其中多晶硅碎料在坩堝中生長成為多晶硅錠以及多晶硅轉換為單晶硅時，通過對坩堝的加熱溫度控制，并利用設置在坩堝底部的籽晶，使融化并圍繞籽晶新生長的晶體按照籽晶的晶粒排列方式進行排列，然而現有的坩堝底部承重板一般作用較為單一，無法調節坩堝與爐內的距離，這樣不僅會影響晶體材料的溶解，且在晶體生長時，由于溫度與高度固定，不利于晶體的生長。

所以，提供一種能夠解決承重板一般作用較為單一，無法調節坩堝與爐內的距離問題的晶體生長用承重裝置成為我們要解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶體生長用承重裝置，以解決上述背景技術中提出承重板一般作用較為單一，無法調節坩堝與爐內的距離問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種晶體生長用承重裝置，包括固定板，所述固定板的上端面設有容納槽，所述容納槽的側壁上設有放置槽，且容納槽內放置有冷卻液，所述固定板內設有容納腔，所述容納腔的側壁上固定連接有電機，所述電機的輸出軸穿過容納腔的側壁并固定連接兩根攪拌桿，所述攪拌桿的側壁上固定連接有多塊豎桿，所述固定板上螺紋連接有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的一端固定連接有轉動桿，且轉動桿位于固定板的下側，所述第一螺紋桿的另一端轉動連接有凸形載物板，且凸形載物板凸出部分與放置槽相配合，所述固定板的上表面固定連接有多個豎板，所述凸形載物板滑動連接在豎板的側壁上，所述凸形載物板設有容物槽，所述容物槽內放置有坩堝，所述凸形載物板的上表面固定連接有擋板，所述擋板與坩堝相接觸，所述凸形載物板內設有空腔，所述空腔的側壁上轉動連接有第二螺紋桿，所述第二螺紋桿上螺紋連接有滑動板，所述滑動板的兩端均滑動連接在空腔的側壁上，所述滑動板的一端貫穿空腔的側壁并固定連接有L形壓緊板，所述L形壓緊板滑動連接在凸形載物板的上表面，且L形壓緊板與坩堝的側壁相接觸；所述第二螺紋桿上固定連接有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪嚙合有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪上固定連接有轉動軸，所述轉動軸的一端穿過空腔的側壁并固定連接有旋鈕，所述旋鈕位于凸形載物板的外側。

作為優選，所述轉動桿的側壁上均布有凸起，所述凸起的橫截面為三角形。

作為優選，所述豎板的側壁上設有滑槽，所述凸形載物板上固定連接有滑塊，所述滑塊滑動連接在滑槽內。

作為優選，所述空腔的側壁上設有限位槽，所述第二螺紋桿轉動連接在限位槽內。

作為優選，所述凸形載物板的上表面設有條形通孔，所述滑動板的一端穿過條形通孔并固定連接在L形壓緊板上。

作為優選，所述旋鈕的側壁上均布有條形齒，所述條形齒的縱截面為梯形。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：通過在凸形載物板上設置第一螺紋桿，便于凸形載物板的上下移動，通過在坩堝的一側設置L形壓緊板，便于將坩堝壓緊固定，通過在凸形載物板的下側設置冷卻液，便于坩堝底部降溫，通過在冷卻液中設置攪拌桿，便于冷卻液保持恒溫；這種晶體生長用承重裝置不僅能夠便于調節坩堝的高度，而且能夠快速將坩堝進行降溫，不僅利于晶體材料的溶解，也加快了晶體的生長速度，因此這種晶體生長用承重裝置值得推廣。