[實用新型]鈣鈦礦層制備裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820406081.9 | 申請日: | 2018-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN208269524U | 公開(公告)日: | 2018-12-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳偉中;汪榮峰;謝道遠;方主亮;蔡龍華;馬英壯;范斌;田清勇 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州協(xié)鑫納米科技有限公司;蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司 |
| 主分類號: | F26B9/06 | 分類號: | F26B9/06;F26B7/00 |
| 代理公司: | 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 王樂 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 涂布基板 鈣鈦礦層 承載平臺 制備裝置 抽真空管 通氣管 蓋板 腔體 體內(nèi) 飽和蒸汽壓力 紅外加熱機構(gòu) 本實用新型 腔體抽真空 輻射加熱 紅外加熱 升降機構(gòu) 受熱均勻 通氣閥門 外界空氣 真空閥門 干燥箱 聯(lián)通 容置 升降 | ||
本實用新型涉及一種鈣鈦礦層制備裝置,包括:干燥箱,具有箱體及蓋板,所述箱體與所述蓋板形成具有容置涂布基板的腔體;承載平臺,用于放置涂布基板,設(shè)置在所述腔體內(nèi);升降機構(gòu),用于升降涂布基板以使涂布基板頂離所述承載平臺或使涂布基板落置在所述承載平臺上;抽真空管,用于對所述腔體抽真空,所述抽真空管上設(shè)置有真空閥門;通氣管,用于使所述腔體與外界空氣聯(lián)通,所述通氣管上設(shè)置有通氣閥門;以及紅外加熱機構(gòu),用于對放置于所述腔體內(nèi)的涂布基板進行輻射加熱。上述鈣鈦礦層制備裝置,通過紅外加熱能夠在短時間內(nèi)使腔體環(huán)境達到飽和蒸汽壓力,并且可使鈣鈦礦層受熱均勻,從而有助于提高鈣鈦礦層的質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種鈣鈦礦層制備裝置。
背景技術(shù)
鈣鈦礦太陽能電池是近年來出現(xiàn)的一種新型太陽能電池,在具有較高光電轉(zhuǎn)化效率的同時,還具備結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉等優(yōu)點。近年來,對鈣鈦礦型太陽能電池的研究得到了迅速發(fā)展,其中鈣鈦礦層的制備是研究的主要內(nèi)容。
目前對于鈣鈦礦層的制備工藝,涂布基板的干燥通常采用真空干燥裝置,真空干燥裝置通過電加熱平臺以熱傳導(dǎo)的方式使放置于平臺上的涂布基板進行加熱,從而使涂布基板上的鈣鈦礦涂布膜中的溶劑蒸發(fā),通過真空泵排出,達到干燥的目的。
但通過上述方式,得到的鈣鈦礦層的質(zhì)量較差,不利于工業(yè)化應(yīng)用。
實用新型內(nèi)容
基于此,有必要針對目前利用傳統(tǒng)設(shè)備所制備的鈣鈦礦層質(zhì)量較差不利于工業(yè)化應(yīng)用的問題,提供一種鈣鈦礦層制備裝置。
一種鈣鈦礦層制備裝置,包括:
干燥箱,具有箱體及蓋板,所述箱體與所述蓋板形成具有容置涂布基板的腔體;
承載平臺,用于放置涂布基板,設(shè)置在所述腔體內(nèi);
升降機構(gòu),用于升降涂布基板以使涂布基板頂離所述承載平臺或使涂布基板落置在所述承載平臺上;
抽真空管,用于對所述腔體抽真空,所述抽真空管上設(shè)置有真空閥門;
通氣管,用于使所述腔體與外界空氣聯(lián)通,所述通氣管上設(shè)置有通氣閥門;
紅外加熱機構(gòu),用于對放置于所述腔體內(nèi)的涂布基板進行輻射加熱。
上述鈣鈦礦層制備裝置,通過紅外加熱能夠在短時間內(nèi)使腔體環(huán)境達到飽和蒸汽壓力,并且可使鈣鈦礦層受熱均勻,從而有助于提高鈣鈦礦層的質(zhì)量。
在其中一個實施例中,所述箱體的側(cè)壁設(shè)有供涂布基板進出的門。
在其中一個實施例中,所述承載平臺設(shè)置于所述箱體的底壁上。
在其中一個實施例中,所述升降機構(gòu)包括平行設(shè)置的至少兩個升降桿,在所述承載平臺與箱體底板上設(shè)置有供所述升降桿穿過的通孔。
在其中一個實施例中,所述抽真空管設(shè)置于箱體底部,所述通氣管設(shè)置于箱體側(cè)部。
在其中一個實施例中,所述抽真空管包括與所述箱體底部連通的兩個分管道、以及將兩個所述分管匯合的總管道;總管道及分管道上均設(shè)置有真空閥門;所述兩個分管道與所述箱體底部的連通口分別位于所述承載平臺的相對兩側(cè)。
在其中一個實施例中,所述紅外加熱機構(gòu)為紅外燈管。
在其中一個實施例中,所述蓋板的材質(zhì)為石英玻璃。
在其中一個實施例中,所述紅外燈管設(shè)置于石英玻璃蓋板的上表面。
在其中一個實施例中,所述紅外燈管上方設(shè)置有防護罩。
附圖說明
圖1為本實用新型一實施例的減壓干燥裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
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