[實用新型]一種通過滾輪實現均勻壓印的納米壓印設備

有效

• 申請號: 201820403759.8
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN207908855U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種通過滾輪實現均勻壓印的納米壓印設備，其特征在于：包括工作臺、用于帶動工作臺做左右移動的移動平臺，所述工作臺的上方固定有用于放置基板的托盤，還包括底部設有納米結構的軟模板、用于支撐軟模板于基板上方的支撐單元；所述支撐單元包括分別設在托盤左右兩側且設在工作臺上的左支撐單元和右支撐單元以及用于驅動左右支撐單元做上下移動的支撐單元驅動裝置，所述左支撐單元用于搭載軟模板的一端，所述右支撐單元用于固定軟模板的另一端；所述右支撐單元的右側設有滾壓單元；所述滾壓單元包括滾輪總成和帶動滾輪總成做上下移動的滾輪驅動裝置，還包括控制單元，所述控制單元分別與支撐單元驅動裝置、移動平臺、滾輪驅動裝置做電連接。

2.如權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述支撐單元驅動裝置為伺服驅動桿；所述左支撐單元包括至少兩根對應設置的第一支撐桿、固定在兩根第一支撐桿上端的用于搭載軟模板的半固定夾具；所述右支撐單元包括兩根對應設置第二支撐桿、固定在兩根第二支撐桿上端的用于固定軟模板的固定夾具。

3.如權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述滾輪總成包括滾輪、用于安裝滾輪的支撐架，所述滾輪驅動裝置與支撐架配合用于帶動支撐架和滾輪做上下移動。

4.如權利要求3所述的納米壓印設備，其特征在于：所述滾輪外表面設有彈性材料層。

5.如權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述托盤中安裝有加熱裝置。

6.如權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述滾壓單元的右側設有密封罩體，用于將置于托盤上的軟模板罩住并形成密閉腔體，密封罩體上安裝有用于向密閉腔體中充壓的充氣泵，所述密封罩體還連接有帶動密封罩體做上下移動的密封罩體驅動裝置，所述控制單元還分別與充氣泵和密封罩體驅動裝置做電連接。

7.如權利要求6所述的納米壓印設備，其特征在于：還包括排氣管、以及安裝在排氣管上的啟閉控制閥，所述排氣管安裝在所述密封罩體上并與所述密閉腔體接通，所述啟閉控制閥與控制單元做電連接。