[實用新型]一種加熱組件

有效

• 申請號: 201820402999.6
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN208062030U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 管長樂;南建輝;張金斌
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種加熱組件，設于載板下方，用于對所述載板的加熱面進行加熱，其特征在于：包括呈上下設置的第一加熱單元及第二加熱單元，所述第一加熱單元包括多根平行布置的第一加熱元件，所述第二加熱單元包括多根平行布置的第二加熱元件；所述第一加熱元件的排布方向垂直于所述第二加熱元件的排布方向設置，且所述第一加熱元件與第二加熱元件在所述載板加熱面上的投影構成多個環形加熱區域。

2.根據權利要求1所述的加熱組件，其特征在于：所述第一加熱元件及第二加熱元件均包括加熱段和非加熱段，所述第一加熱元件與第二加熱元件的加熱段在所述載板加熱面上的投影構成類“回”字型。

3.根據權利要求1所述的加熱組件，其特征在于：所述第一加熱元件及第二加熱元件均為獨立控制的加熱燈管，所述加熱燈管包括石英玻璃管及設于所述石英玻璃管內的燈絲。

4.根據權利要求3所述的加熱組件，其特征在于：還包括用于控制各個所述加熱燈管中燈絲的功率的控制器。

5.根據權利要求3所述的加熱組件，其特征在于：所述加熱燈管對應于所述燈絲發熱段的管壁下表面設有反射層。

6.根據權利要求3所述的加熱組件，其特征在于：所述加熱燈管包括紅外加熱燈管。

7.根據權利要求1所述的加熱組件，其特征在于：所述第一加熱單元及第二加熱單元均還包括燈外殼，多根所述第一加熱元件及多根所述第二加熱元件間隔設置在對應的所述燈外殼內，且多根所述第一加熱元件及多根第二加熱元件均包括至少兩種電阻值的電阻絲。

8.根據權利要求7所述的加熱組件，其特征在于：還包括用于獨立地控制所述第一加熱單元及第二加熱單元的功率的控制器。

9.根據權利要求7所述的加熱組件，其特征在于：所述燈外殼對應于所述電阻絲的加熱段的管壁下表面設有反射層。

10.根據權利要求5或9所述的加熱組件，其特征在于：所述反射層包括Ag層、Al層、AlNd層、石英層及陶瓷層中的一種或多種。