[實用新型]一種硅片鏡片超聲波清洗系統

有效

• 申請號: 201820400625.0
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN208230418U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 高建勛
• 申請（專利權）人: 昆明勛凱瑞光學儀器有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;F26B23/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片鏡片超聲波清洗系統，包括設置在安裝架（1）上的外殼（2），所述外殼（2）的頂部鉸接有蓋板（3），其特征在于：所述外殼（2）的內部由上至下依次設置烘干室（4）、清洗室（5）和廢液室（6），所述烘干室（4）、清洗室（5）和廢液室（6）依次通過第一擋板（7）、第二擋板（8）分隔，所述第一擋板（7）、第二擋板（8）上分別開設有第一通孔和第二通孔，所述烘干室（4）的內壁設置有加熱管（9），所述清洗室（5）的內壁設置有超聲波換能器（10），所述清洗室（5）的上部開設有進液口（11），所述廢液室（6）的下部開設有出液口（12）；

所述外殼（2）的底部設置有氣缸（13），所述氣缸（13）包括活塞桿（14），所述活塞桿（14）穿入外殼（2）并通過第二通孔延伸至清洗室（5）內，所述活塞桿（14）的端部安裝有鏡片固定架（15），所述鏡片固定架（15）的直徑小于第一通孔的孔徑，所述活塞桿（14）上配合第二通孔設置有橡膠環（16）。

2.根據權利要求1所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述活塞桿（14）上配合橡膠環（16）還設置有限位環（17），所述限位環（17）設置在橡膠環（16）的頂部，所述限位環（17）的直徑大于橡膠環（16）的直徑。

3.根據權利要求2所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述橡膠環（16）的直徑大于第二通孔的孔徑，所述橡膠環（16）的中部由上往下直徑逐漸減小。

4.根據權利要求3所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述烘干室（4）的上側開設有通氣孔，所述通氣孔內安裝有百葉窗（18）。

5.根據權利要求4所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述蓋板（3）上設置有紫外線消毒燈（19）。

6.根據權利要求5所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述加熱管（9）為對稱設置在烘干室（4）內壁周側的八個。

7.根據權利要求6所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述超聲波換能器（10）為對稱設置的兩個。

8.根據權利要求7所述的一種硅片鏡片超聲波清洗系統，其特征在于：所述清洗室（5）內壁的上側還設置有液位傳感器（20）。