[實(shí)用新型]一種高能離子注入機(jī)射頻加速裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820388356.0 | 申請日: | 2018-03-21 |
| 公開(公告)號: | CN207883653U | 公開(公告)日: | 2018-09-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉輝;謝明華;劉蒙瑞;張琪;葉磊 | 申請(專利權(quán))人: | 長沙學(xué)院 |
| 主分類號: | H01J37/30 | 分類號: | H01J37/30;H01J37/32 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 410022 湖*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 調(diào)諧 電壓控制器 射頻 數(shù)字移相器 加速腔 高能離子注入機(jī) 射頻加速系統(tǒng) 通信接口電路 本實(shí)用新型 主控計算機(jī) 電機(jī) 加速裝置 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域 兆電子伏特能量 檢測器 靜電四極透鏡 離子束能量 射頻電源 雙腔結(jié)構(gòu) 阻抗相位 離子束 串聯(lián) 離子 | ||
1.一種高能離子注入機(jī)射頻加速裝置,包括主控計算機(jī),數(shù)字移相器,射頻加速系統(tǒng),通信接口電路,射頻電源,同步調(diào)諧相位、電壓控制器,阻抗相位檢測器,調(diào)諧電機(jī),調(diào)諧筒和靜電四極透鏡,射頻加速系統(tǒng)包含有多個雙腔結(jié)構(gòu)的射頻加速腔、每個射頻加速腔連接一個調(diào)諧筒,調(diào)諧筒連接調(diào)諧電機(jī)和同步調(diào)諧相位、電壓控制器,調(diào)諧電機(jī)還與同步調(diào)諧相位、電壓控制器相連,主控計算機(jī)通過通信接口電路連接數(shù)字移相器和每一個同步調(diào)諧相位、電壓控制器,數(shù)字移相器還與每一個同步調(diào)諧相位、電壓控制器相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高能離子注入機(jī)射頻加速裝置,其特征在于:所述的射頻加速系統(tǒng)包含有多個雙腔結(jié)構(gòu)的射頻加速腔,每個射頻加速腔獨(dú)立控制,控制每個腔的時間相位正好與進(jìn)入腔體的離子束團(tuán)同步,使得離子進(jìn)入每個射頻加速腔時都可以得到加速,通過多級串聯(lián),將離子能量加速至十兆電子伏特以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高能離子注入機(jī)射頻加速裝置,其特征在于:所述的同步調(diào)諧相位、電壓控制器包括輸入輸出接口電路,CAN總線通信接口電路,微控制器,放大器,比較器,電機(jī)驅(qū)動電路,電機(jī)位置檢測電路,壓力檢測電路,模數(shù)轉(zhuǎn)換電路,數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,相位檢測電路,電壓幅度檢測電路,壓控振蕩器和分頻電路。
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