[實用新型]一種激光波前測量儀

有效

• 申請號: 201820382192.0
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN207991696U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 鄭水欽;徐世祥;上官煌城;林慶鋼;周寶月
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00
• 代理公司: 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312
• 代理人: 王利彬

本實用新型公開一種激光波前測量儀，包括電控旋轉臺、柱透鏡、光電傳感器及數據處理器，柱透鏡對待測激光進行沿垂直母線方向的一維聚焦，柱透鏡隨著電控旋轉臺的旋轉而旋轉，數據處理器基于獲取并保存的光強分布圖像確定待測激光的波前分布信息。因柱透鏡可對激光進行沿垂直母線方向的一維聚焦，其聚焦光斑分布包含了垂直母線方向的一維頻譜分布以及沿母線方向的空間分布，通過旋轉柱透鏡，獲取不同母線方向的聚焦光斑，可以獲取到具有唯一性的激光光場相位分布，因此，利用包含具有一維聚焦功能的柱透鏡的激光波前測量儀，可獲取到具有唯一性的相位分布，利用具有唯一性的相位分布可還原出唯一性的波前分布信息，還原結果準確。

技術領域

本實用新型屬于激光技術領域，尤其涉及一種激光波前測量儀。

背景技術

現有的激光光束質量分析儀主要通過一個精密直線導軌搭載一個二維光電傳感器記錄激光光束在不同距離的光強分布，并基于衍射理論的迭代算法可以推演出激光光束相位分布。但是，因為推演出的激光光束相位分布是不唯一的，所以利用該激光光束相位分布還原的波前分布信息也是不具有唯一性的，還原結果不準確。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提出一種激光波前測量儀，旨在解決現有的激光光束質量分析儀還原的波前分布信息不具有唯一性，還原結果不準確的技術問題。

為實現上述目的，本實用新型提供一種激光波前測量儀，所述激光波前測量儀包括：電控旋轉臺、柱透鏡、光電傳感器及數據處理器；

所述柱透鏡搭載于所述電控旋轉臺上，用于對待測激光進行沿垂直母線方向的一維聚焦；

所述光電傳感器位于所述柱透鏡的后焦面上，用于獲取所述柱透鏡的后焦面上形成的光強分布圖像；

所述電控旋轉臺，用于帶動所述柱透鏡，并使所述柱透鏡隨著所述電控旋轉臺的旋轉而旋轉；

所述數據處理器與所述電控旋轉臺相連接，用于發送旋轉指令給所述電控旋轉臺；

所述數據處理器與所述光電傳感器相連接，用于接收并保存預置數量的光強分布圖像，并基于所述預置數量的光強分布圖像確定所述待測激光的波前分布信息。

進一步的，所述光電傳感器為二維光電傳感器。

進一步的，所述二維光電傳感器為面陣電荷耦合元件或面陣互補金屬氧化物半導體。

進一步的，所述數據處理器為計算機或片上系統。

進一步的，所述激光波前測量儀還可包括反射鏡，所述反射鏡用于改變從所述柱透鏡到所述光電傳感器的光路傳輸方向。

本實用新型提供一種激光波前測量儀，該激光波前測量儀包括：電控旋轉臺、柱透鏡、光電傳感器及數據處理器，柱透鏡搭載于電控旋轉臺上，用于對待測激光進行沿垂直母線方向的一維聚焦，光電傳感器位于柱透鏡的后焦面上，用于獲取柱透鏡的后焦面上形成的光強分布圖像，電控旋轉臺，用于帶動柱透鏡，并使柱透鏡隨著電控旋轉臺的旋轉而旋轉，數據處理器與電控旋轉臺相連接，用于發送旋轉指令給電控旋轉臺，數據處理器與光電傳感器相連接，用于接收并保存預置數量的光強分布圖像，并基于預置數量的光強分布圖像確定待測激光的波前分布信息。因柱透鏡可對激光進行沿垂直母線方向的一維聚焦，其聚焦光斑分布包含了垂直母線方向的一維頻譜分布以及沿母線方向的空間分布，通過旋轉柱透鏡，獲取不同母線方向的聚焦光斑，可以獲取到具有唯一性的激光光場相位分布，因此，利用包含具有一維聚焦功能的柱透鏡的激光波前測量儀，可獲取到具有唯一性的相位分布，利用具有唯一性的相位分布可還原出唯一性的波前分布信息，還原結果準確。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例提供的一種激光波前測量儀的結構示意圖；

圖2為本實用新型第二實施例提供的一種激光波前測量儀的結構示意圖。