[實用新型]一種改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201820381632.0
• 申請日: 2018-03-19
• 公開（公告）號: CN208279683U
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 張元勝
• 申請（專利權）人: 東莞市悅目光學科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 東莞市科安知識產權代理事務所(普通合伙) 44284
• 代理人: 曾毓芳

本實用新型公開了一種改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機，包括單體真空鍍膜機、維持泵、前級泵、第一散熱鰭片、第二散熱鰭片和連接螺桿，所述單體真空鍍膜機、維持泵和前級泵的輸入端均設置有第一管道，所述第一散熱鰭片和第二散熱鰭片安裝在管道保護外殼的外側，所述第一管道和第二管道的輸出端分別設置有第二連接件和第一連接件，所述連接螺桿安裝在第一連接件和第二連接件之間。該改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機中單體真空鍍膜機、維持泵和前級泵之間兩兩連接的方式為卡合連接，利于使用者對單體真空鍍膜機、維持泵和前級泵之間的拆卸和安裝，同時第一管道和第二管道外層管道保護外殼的設置利于對第一管道和第二管道的保護。

技術領域

本實用新型涉及單體真空鍍膜機相關技術領域，具體為一種改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。但是目前使用的單體真空鍍膜機的內部易出現油垢的現象，因此現在人們通常在前級泵的輸出端加入維持泵來增加前級泵的工作效率，以減少單體真空鍍膜機內部的油垢出現率，所以前級泵和維持泵之間管道的連接中不便于使用者對其的安裝和拆卸，以不便于使用者對其的維修和更換，并且在前級泵和維持泵工作的過程中，不具備對管道散熱的功能，使得管道的使用年限不佳。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機，以解決上述背景技術中提出的目前使用的單體真空鍍膜機的內部易出現油垢的現象，因此現在人們通常在前級泵的輸出端加入維持泵來增加前級泵的工作效率，以減少單體真空鍍膜機內部的油垢出現率，所以前級泵和維持泵之間管道的連接中不便于使用者對其的安裝和拆卸，以不便于使用者對其的維修和更換，并且在前級泵和維持泵工作的過程中，不具備對管道散熱的功能，使得管道的使用年限不佳的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種改善腔體潔凈度的單體真空鍍膜機，包括單體真空鍍膜機、維持泵、前級泵、第一散熱鰭片、第二散熱鰭片和連接螺桿，所述單體真空鍍膜機、維持泵和前級泵的輸入端均設置有第一管道，且單體真空鍍膜機、維持泵和前級泵的輸出端均設置有第二管道，所述單體真空鍍膜機的左方安裝有維持泵，且維持泵的左方安裝有前級泵，所述第一管道和第二管道的表面分別安裝有第一閥門和第二閥門，且第一管道和第二管道的外層均設置有管道保護外殼，所述第一散熱鰭片和第二散熱鰭片安裝在管道保護外殼的外側，且第二散熱鰭片的上端設置有第一散熱鰭片，所述第一管道和第二管道的輸出端分別設置有第二連接件和第一連接件，且第一連接件和第二連接件的內側分別設置有第一卡齒和第二卡齒，所述連接螺桿安裝在第一連接件和第二連接件之間。

優選的，所述第一管道和第二管道之間為嚙合連接，且第一管道和第二管道構成拆卸安裝結構。

優選的，所述第一散熱鰭片和第二散熱鰭片構成“T”型結構，且第一散熱鰭片以粘接的方式與管道保護外殼連接，并且第一散熱鰭片和第二散熱鰭片均等間距的分布在管道保護外殼的外側。

優選的，所述第一連接件和第二連接件的大小和形狀均相同，且第一連接件和第二連接件設置有兩組，并且第一連接件和第二連接件之間為無縫連接。

優選的，所述第一卡齒和第二卡齒均為“V”型結構，且第一卡齒和第二卡齒呈相互交錯布置。

優選的，所述連接螺桿的數量為兩個，且連接螺桿以第一管道的中心軸對稱布置，并且連接螺桿的兩側均安裝有緊固螺帽。