[實用新型]一種3D研磨設備的等分研磨盤

有效

• 申請號: 201820375186.2
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN208019989U
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 劉金龍
• 申請（專利權）人: 深圳市德治鑫自動化設備有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;B24B37/34;B24B47/12;B24B55/06
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種3D研磨設備的等分研磨盤，其特征在于：它包含真空旋轉平臺和下磨盤機構；真空旋轉平臺的上部等分設有數個下磨盤機構；所述的下磨盤機構由支撐板、減速電機、主動齒輪、從動齒輪、電氣旋轉滑環、底板、上罩、磨盤傳動齒輪、中部同步傳動齒輪和磨盤構成；支撐板的下部固定有減速電機，減速電機的輸出軸上連接有主動齒輪，主動齒輪上嚙合有從動齒輪，且從動齒輪通過連接軸與電氣旋轉滑環連接，電氣旋轉滑環固定在支撐板上，從動齒輪與電氣旋轉滑環之間的連接軸上端穿過底板后與中部同步傳動齒輪連接固定，中部同步傳動齒輪上嚙合有數個磨盤傳動齒輪，每個磨盤傳動齒輪均通過轉軸旋接固定在上罩上，且該轉軸的頂端均連接固定有磨盤；所述的上罩罩設固定在底板上，底板固定在支撐板上。

2.根據權利要求1所述的一種3D研磨設備的等分研磨盤，其特征在于：所述的從動齒輪與電氣旋轉滑環之間的連接軸的下端貫通連接有總真空進氣口；每個磨盤傳動齒輪與上罩之間的轉軸的下端均貫通連接有分真空進氣口，其上端均與磨盤上的真空吸附孔相互貫通設置，每個分真空進氣口均通過管道與總真空進氣口連接，總真空進氣口與外部真空氣源連接。

3.根據權利要求1所述的一種3D研磨設備的等分研磨盤，其特征在于：所述的等分研磨盤通過支撐板固定在真空旋轉平臺上。