[實用新型]連續掃描激光快速測振系統

有效

• 申請號: 201820372699.8
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN208125268U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 楊世飛;徐徐;孫磊;鄒小勇
• 申請（專利權）人: 南京凱奧思數據技術有限公司
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 北京竹辰知識產權代理事務所(普通合伙) 11706
• 代理人: 陳龍

1.一種連續掃描激光快速測振系統，其特征在于，包括：

激光源，發射測量激光至高速X-Y掃描鏡片；

高速X-Y掃描鏡片：在連續正弦信號的驅動下引導測量激光在被測物體表面上連續掃描出一個封閉曲線；

控制器：發送連續正弦信號驅動高速X-Y掃描鏡片，并接收激光源的振動信號，從而獲取所述測量激光的振動信號和所述高速X-Y掃描鏡片的鏡片位置信號；

處理器：與所述控制器通信連接。

2.根據權利要求1所述的測振系統，其特征在于，所述控制器內設置濾波電路，所述濾波電路，包括運放器A1、運放器A2和運放器A3，運放器A1的同相輸入端串聯電阻R2和電阻R3，電阻R2和電阻R3之間的節點與運放器A1的輸出端之間串聯電容C1，運放器A1的同相輸入端與地之間串聯電容C2，運放器A1的反相輸入端與地之間串聯電阻R1，運放器A1的反相輸入端與運放器A1的輸出端之間串聯滑動變阻器R4，運放器A1的輸出端與地之間串聯電阻R5，運放器A1的輸出端與運放器A2之間的同相輸入端之間串聯電阻R6和電阻R7，運放器A2的同相輸入端與地之間串聯電容C5，電阻R6和電阻R7之間的節點與運放器A2的反相輸入端之間串聯電容C4，運放器A2的反相輸入端與運放器A2輸出端串聯，運放器A2的輸出端與運放器A3的反相輸入端之間串聯電阻R8，運放器A3的同相輸入端接地，運放器A3的反相輸入端與運放器A3的輸出端之間串聯電阻R9，電容C5與電阻R9并聯。

3.根據權利要求2所述的測振系統，其特征在于，電阻R1的電阻值為27KΩ，電阻R2的電阻值為33KΩ，電阻R3的電阻值為33KΩ，電阻R4的電阻值為20KΩ，電阻R5的電阻值為10KΩ，電阻R6的電阻值為24KΩ,電阻R7的電阻值為2KΩ，電阻R8的電阻值為1.3KΩ，電阻R9的電阻值為1.5KΩ。

4.根據權利要求2所述的測振系統，其特征在于，電容C1的電容值為4.7nF，電容C2的電容值為4.7nF，電容C3的電容值為100nF，電容C4的電容值為50nF，電容C5的電容值為10nF。