[實用新型]一種用于大倍率光刻設備光學系統的輔助DMD調平裝置有效

申請號：	201820372396.6	申請日：	2018-03-19
公開（公告）號：	CN207976695U	公開（公告）日：	2018-10-16
發明（設計）人：	李永強;吳瓊;楊宇航;何偉	申請（專利權）人：	合肥芯碁微電子裝備有限公司
主分類號：	G03F9/00	分類號：	G03F9/00
代理公司：	合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115	代理人：	宋倩;奚華保
地址：	230088 安徽省合肥市高新區***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	本實用新型相機支撐架光刻設備光學系統調平裝置固定底板大倍率平行性相對位置關系調試過程調試效率動態變化橫向設置生產需求實時觀測四角位置相對設置敞口端可控制上側板投影圖下側板調試相機觀察
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【權利要求書】：

1.一種用于大倍率光刻設備光學系統的輔助DMD調平裝置，其特征在于：該裝置包括固定底板、第一U型支撐架、第二U型支撐架、四個相機支撐架和四個CCD；所述第一U型支撐架和第二U型支撐架橫向設置且兩者的敞口端相對設置，兩者的下側板均安裝在固定底板上，兩者的上側板上均安裝兩個相機支撐架；所述四個CCD一一對應安裝在四個相機支撐架上，且所述四個CCD的相對位置關系與光刻設備光學系統投影圖的邊緣四角位置相對應。

2.根據權利要求1所述的用于大倍率光刻設備光學系統的輔助DMD調平裝置，其特征在于：所述第一U型支撐架的下側板上開設有若干橫向腰型孔，所述第二U型支撐架的下側板上開設有若干縱向腰型孔，所述固定底板上開設有若干與所述橫向腰型孔和縱向腰型孔相對應的安裝孔，所述第一U型支撐架的下側板通過所述橫向腰型孔和安裝孔安裝在固定底板上，所述第二U型支撐架的下側板通過所述縱向腰型孔和安裝孔安裝在固定底板上。

3.根據權利要求1或2所述的用于大倍率光刻設備光學系統的輔助DMD調平裝置，其特征在于：所述固定底板上開設有若干固定孔，所述固定孔用于將所述固定底板固定在安裝平面上。

4.根據權利要求1所述的用于大倍率光刻設備光學系統的輔助DMD調平裝置，其特征在于：所述相機支撐架上開設有CCD安裝槽。

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