[實(shí)用新型]一種直寫光刻機(jī)中高利用率高均勻度的LED照明系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820372390.9 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208399888U | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊宇航;吳瓊;何少鋒;李永強(qiáng);項(xiàng)宗齊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 合肥芯碁微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚華保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 轉(zhuǎn)向棱鏡 勻光鏡 本實(shí)用新型 數(shù)字掩膜板 直寫光刻機(jī) 高均勻度 高利用率 聚光透鏡 準(zhǔn)直鏡組 出射光發(fā)散角 光源利用率 微透鏡陣列 照明均勻性 精度要求 數(shù)值孔徑 同一軸線 軸線垂直 出射面 良品率 入射面 裝配 對(duì)稱 平行 | ||
1.一種直寫光刻機(jī)中高利用率高均勻度的LED照明系統(tǒng)，包括LED光源，其特征在于：還包括準(zhǔn)直鏡組、勻光鏡組、聚光透鏡和轉(zhuǎn)向棱鏡，所述LED光源、準(zhǔn)直鏡組、勻光鏡組和聚光透鏡的中心均位于同一軸線上，所述轉(zhuǎn)向棱鏡位于DMD數(shù)字掩膜板的下方；所述LED光源的出射光發(fā)散角對(duì)應(yīng)的數(shù)值孔徑為NA0.85；所述勻光鏡組為一對(duì)微透鏡陣列對(duì)稱組合而成；所述轉(zhuǎn)向棱鏡的入射面與所述軸線垂直，所述轉(zhuǎn)向棱鏡的出射面與所述DMD數(shù)字掩膜板平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直寫光刻機(jī)中高利用率高均勻度的LED照明系統(tǒng)，其特征在于：所述LED光源采用單顆LED燈珠或多顆LED燈珠陣列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直寫光刻機(jī)中高利用率高均勻度的LED照明系統(tǒng)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)向棱鏡采用內(nèi)部全反射棱鏡。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
