[實用新型]真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器

有效

• 申請號: 201820369387.1
• 申請日: 2018-03-17
• 公開（公告）號: CN208121199U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 孫宏梅
• 申請（專利權）人: 泰州市夢之谷科技發展有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;F04B37/14;F04B39/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器，氣缸內設有抽拉桿，抽拉桿與缸內活塞連接，抽拉桿活動連接一調節桿，氣缸上設有支架，調節桿與支架連接，調節桿上還連接一定位桿，定位桿上設有齒牙，支架上連接抽氣管，抽氣管內設有活塞，活塞上連接抽氣桿，抽氣桿與調節桿連接，抽氣管上設有一管道接口，氣缸上連接一增壓缸，增壓缸與氣缸單向連通，增壓缸上設有管道接口。該調節器在本體上設置了氣缸，氣缸內的抽拉桿可以帶動活塞向增壓缸內充入氣體，增壓缸內的高壓氣體由管道接口進入維持泵管路調節管內氣壓，該調節器上還設有一抽氣管，抽氣管也與維持泵管路連接，這樣手動可實現對管路氣壓的調節，提高維持泵的工作穩定性。

技術領域

本實用新型涉及一種真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機的維持泵管路受真空度影響會出現上下管體內壓差異的情況，當管內壓力差較大的時候會影響維持泵的運行穩定性。

實用新型內容

本實用新型主要是解決現有技術所存在的技術問題，從而提供一種真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器。

本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：

一種真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器，包含一氣缸，氣缸內設有一抽拉桿，抽拉桿的一端與缸內活塞連接，抽拉桿的另一端活動連接一調節桿，氣缸的一端設有一支架，調節桿與支架活動連接，調節桿上還活動連接一定位桿，定位桿上設有多個扣接齒牙，支架上固定連接一抽氣管，抽氣管內設有活塞，活塞上活動連接一抽氣桿，抽氣桿與調節桿活動連接，抽氣管上設有一第一管道接口，氣缸的另一端連接一增壓缸，增壓缸中空且與氣缸單向連通，增壓缸上設有一第二管道接口。

作為本實用新型較佳的實施例，所述的支架和氣缸一體成型。

作為本實用新型較佳的實施例，所述的氣缸的缸壁為雙層結構。

本實用新型的真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器在本體上設置了一個氣缸，氣缸內的抽拉桿可以帶動活塞向增壓缸內充入氣體，增壓缸內的高壓氣體由管道接口進入維持泵管路調節管內氣壓，該調節器上還設有一抽氣管，抽氣管也與維持泵管路連接，這樣通過手動即可實現對管路氣壓的調節，提高維持泵的工作穩定性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器的立體結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的優選實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

如圖1所示，一種真空鍍膜機維持泵管路壓力差手動調節器1，包含一氣缸10，氣缸10內設有一抽拉桿20，抽拉桿20的一端與缸內活塞連接，抽拉桿20的另一端活動連接一調節桿21，氣缸10的一端設有一支架11，調節桿21與支架11活動連接，調節桿21上還活動連接一定位桿22，定位桿22上設有多個扣接齒牙，支架11上固定連接一抽氣管30，抽氣管30內設有活塞，活塞上活動連接一抽氣桿31，抽氣桿31與調節桿21活動連接，抽氣管30上設有一第一管道接口32，氣缸10的另一端連接一增壓缸40，增壓缸40中空且與氣缸10單向連通，增壓缸40上設有一第二管道接口41。