[實用新型]一種靜電諧振式加速度計有效
| 申請號： | 201820369166.4 | 申請日： | 2018-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN207882297U | 公開（公告）日： | 2018-09-18 |
| 發明（設計）人： | 何高法;周明舉;孟杰 | 申請（專利權）人： | 重慶科技學院 |
| 主分類號： | G01P15/097 | 分類號： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙) 50223 | 代理人： | 王玉芝;楊明 |
| 地址： | 401331 重*** | 國省代碼： | 重慶;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 諧振器 質量塊 本實用新型 諧振式加速度計 靜電 靜電力 加速度計靈敏度 加速度變化量 靜電力作用 分離設計 加速度計 品質因子 諧振頻率 諧振器梁 諧振狀態 直流電壓 制造成本 制造工藝 導體 非接觸 靈敏度 電極 長程 音叉 施加 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，該加速度計包括質量塊和至少一個諧振器，所述諧振器上設置有電極，所述質量塊為導體，所述質量塊與所述諧振器之間被施加一定的直流電壓，使諧振器受到一定的靜電力，在某一頻率下處于諧振狀態。
2.根據權利要求1所述的一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，所述的至少一個諧振器為一個諧振器，設置于質量塊的一側。
3.根據權利要求1所述的一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，所述的至少一個諧振器為兩個諧振器，所述兩個諧振器分別位于質量塊的兩側。
4.根據權利要求1所述的一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，所述的至少一個諧振器為兩個諧振器，兩個諧振器位于質量塊的同一側。
5.根據權利要求1所述的一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，所述的至少一個諧振器為四個諧振器，每兩個諧振器組成一個諧振單元，兩個諧振器并排設置，質量塊的相對兩側各設置一個諧振單元。
6.根據權利要求1～5任意一項所述的一種靜電諧振式加速度計，其特征在于，所述諧振器為石英音叉諧振器。
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