[實用新型]坩堝冷卻軸有效
| 申請號： | 201820367223.5 | 申請日： | 2018-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN208055500U | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 肖亞東;高鵬飛;黃宇彬 | 申請（專利權）人： | 廣東先導先進材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/00 | 分類號： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 511517 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 冷卻水循環管道 固持端 軸身 出水口 進水口 冷卻軸 套管 坩堝 半導體晶體 生長過程 熱電偶 相接處 溫度檢測數據 伸出 本實用新型 焊接固定 移動裝置 冷卻水 套管包 管套 一軸 緊貼 連通 流出 | ||
【權利要求書】：
1.一種坩堝冷卻軸，其特征在于：其包括一熱電偶、一套管以及一冷卻水循環管道，所述熱電偶包括一固持端以及自固持端凸伸出的一軸身，所述冷卻水循環管道緊貼軸身設置，所述套管包覆于冷卻水循環管道和軸身側周，所述軸身遠離固持端上的一端凸伸出套管，所述軸身與套管相接處、固持端與套管相接處均焊接固定，所述管套上開設有一進水口和一出水口，所述進水口和出水口均與冷卻水循環管道連通，冷卻水自進水口進入冷卻水循環管道并自出水口流出。
2.根據權利要求1 所述的坩堝冷卻軸，其特征在于：所述熱電偶為采用耐高溫材質制備而成的鎧裝熱電偶。
3.根據權利要求1 所述的坩堝冷卻軸，其特征在于：所述固持端上開設有螺紋。
4.根據權利要求1 所述的坩堝冷卻軸，其特征在于：所述套管遠離固持端的一端上凸設有若干卡扣。
5.根據權利要求4 所述的坩堝冷卻軸，其特征在于：所述套管遠離固持端的一端上凸設有兩個卡扣。
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