[實用新型]一種MEMS可燃氣體傳感器

有效

• 申請號: 201820362729.7
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN207957757U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 沈方平
• 申請（專利權）人: 蘇州鉭氪電子科技有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 史慧敏

1.一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，包括硅基底，所述硅基底的下表面設有2個絕熱槽，上表面設有絕熱層，所述絕熱層表面設有對稱分布且為多孔結構的第一貴金屬催化層和第二貴金屬催化層，所述第一貴金屬催化層和第二貴金屬催化層分別位于2個所述絕熱槽的正上方，所述第一貴金屬催化層表面設有氣體隔絕層，所述第二貴金屬催化層表面開有透氣孔，所述氣體隔絕層表面設有一組參比電阻，且與所述第一貴金屬催化層和所述第二貴金屬催化層串聯，所述氣體隔絕層邊緣設有若干引線窗口。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述第一貴金屬催化層和所述第二貴金屬催化層的下表面均設有第一抗氧化緩沖層，所述第一貴金屬催化層與所述氣體隔絕層間設有第二抗氧化緩沖層。

3.根據權利要求2所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述第一抗氧化緩沖層和所述第二抗氧化緩沖層為氮化鈦、氮化鉭、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋯、氧化鎢、氧化釔和氧化釩中的一種或者幾種。

4.根據權利要求1所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述參比電阻的溫度系數小于50PPM/℃。

5.根據權利要求4所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述參比電阻的電阻阻值為所述第一貴金屬催化層和第二貴金屬催化層的100-1000倍。

6.根據權利要求5所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述參比電阻為氮化鈦或者氮化鉭。

7.根據權利要求1所述的一種MEMS可燃氣體傳感器，其特征在于，所述第一貴金屬催化層和所述第二貴金屬催化層為鉑、鈀或鉑鈀合金，厚度為400nm-3000nm。