[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201820361190.3
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN208575007U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 相玉生
• 申請（專利權）人: 連云港派力生物科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 連云港潤知專利代理事務所 32255
• 代理人: 劉喜蓮

一種硅片清洗裝置，該清洗裝置包括清洗箱，清洗箱兩側的側壁上對稱設置有相互配合對硅片進行夾持的左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭，清洗箱中部的周向均勻設置有用于噴射清洗液對硅片進行清洗的清洗噴頭；所述左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭均通過旋轉軸安裝在清洗箱內，清洗箱上還安裝有用于驅動左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭轉動的旋轉動力機構，左旋轉夾持頭上夾持有左夾持板，左夾持板上設有若干開口向上傾斜設置的左夾持槽，右旋轉夾持頭上夾持有右夾持板，右夾持板上設有與左夾持槽配合的開口向下傾斜設置的右夾持槽。該清洗裝置設計合理、操作方便，可同時對大量硅片進行清洗，清洗無死角、效果好、效率高。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗裝置，特別是一種硅片清洗裝置。

背景技術

目前，在硅片切割完成后，都要進行嚴格的清洗，因為即使存在微量的污染也會使得硅片制成的元器件失效。

現有技術中雖然已有很多種硅片清洗裝置，但是一般都是將硅片一片一片的放置到清洗裝置上，勞動強度大，操作麻煩，清洗效率低；并且還會存在清洗后清洗液會殘留在硅片上，清洗不到位的情況。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種設計合理、操作方便、清洗效率高的硅片清洗裝置。

本實用新型所要解決的技術問題是通過以下的技術方案來實現的。本實用新型是一種硅片清洗裝置，該清洗裝置包括清洗箱，清洗箱兩側的側壁上對稱設置有相互配合對硅片進行夾持的左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭，清洗箱中部的周向均勻設置有用于噴射清洗液對硅片進行清洗的清洗噴頭；所述左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭均通過旋轉軸安裝在清洗箱內，清洗箱上還安裝有用于驅動左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭轉動的旋轉動力機構，左旋轉夾持頭上夾持有左夾持板，左夾持板上設有若干開口向上傾斜設置的左夾持槽，右旋轉夾持頭上夾持有右夾持板，右夾持板上設有與左夾持槽配合的開口向下傾斜設置的右夾持槽。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述右夾持板內設置有進液通道，進液通道的管道口外接清洗管道，右夾持槽的槽底設置有與進液通道連通的清洗入口。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述左夾持板內設置有出液通道，左夾持槽的槽底設置有與出液通道連通的清洗出口。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述旋轉動力機構包括旋轉電機，左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭安裝在旋轉電機的輸出端。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述左夾持板和右夾持板上均設有卡塊，左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭分別設有與卡塊配合的卡腔，卡腔的一側設有卡入口，卡入口通過鎖塊鎖緊。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述卡入口側的左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭上均設置有與鎖塊配合的鎖槽，鎖槽的底部封閉，鎖槽的頂部設有便于鎖塊插入的插入口，插入口通過橫向滑動設置在左旋轉夾持頭和右旋轉夾持頭上的滑動塊封口。

本實用新型所要解決的技術問題還可以通過以下的技術方案來進一步實現，對于以上所述的硅片清洗裝置，所述清洗箱的底部設有廢液排放口，清洗箱的一側設有硅片放入口，硅片放入口通過密封門密封。