[實(shí)用新型]一種電磁片擴(kuò)散尾氣排放處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820360418.7
• 申請(qǐng)日: 2018-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN208066063U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃俊;馮林;劉文琪;趙洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖北天合光能有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00
• 代理公司: 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340
• 代理人: 劉瓊

本實(shí)用新型公開了尾氣排放處理裝置技術(shù)領(lǐng)域的一種電磁片擴(kuò)散尾氣排放處理裝置，包括冷卻箱，所述冷卻箱的左側(cè)頂部插接有冷卻液進(jìn)液管道，所述冷卻箱的頂部左側(cè)插接有尾氣出氣管，所述尾氣出氣管的頂部連接有止回閥，所述止回閥的頂部連接有尾氣進(jìn)氣管，所述冷卻箱的底部連接有沉淀箱，所述尾氣出氣管的底部貫穿沉淀箱的頂部，本實(shí)用新型在廢液傳輸管道的外壁和廢液收集管道內(nèi)增加密封套，兩組密封套之間互相配合，使得傳輸管道和廢液收集管道之間的連接更加緊密，減小了滲液的可能性，減小了偏磷酸廢液污染，且將廢液收集管道的管徑加粗，有效的防止偏磷酸堵塞管道，提高效率，節(jié)約成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及尾氣排放處理裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種電磁片擴(kuò)散尾氣排放處理裝置。

背景技術(shù)

擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，擴(kuò)散爐在加工過程中會(huì)產(chǎn)生尾氣，尾氣經(jīng)過處理后會(huì)產(chǎn)生偏磷酸廢液，偏磷酸廢液經(jīng)過廢液收集管流到廢液收集罐內(nèi)集中處理，但是傳統(tǒng)的廢液收集管的管徑較細(xì)，常常會(huì)被偏磷酸廢液堵塞管道，造成成本增加，降低了工作效率，且現(xiàn)有的廢液收集管與廢液傳輸管道連接是通過卡箍連接，連接有間隙，容易滲液，造成偏磷酸廢液污染。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種電磁片擴(kuò)散尾氣排放處理裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的傳統(tǒng)的廢液收集管的管徑較細(xì)，常常會(huì)被偏磷酸廢液堵塞管道，造成成本增加，降低了工作效率，且現(xiàn)有的廢液收集管與廢液傳輸管道連接是通過卡箍連接，連接有間隙，容易滲液，造成偏磷酸廢液污染的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種電磁片擴(kuò)散尾氣排放處理裝置，包括冷卻箱，所述冷卻箱的左側(cè)頂部插接有冷卻液進(jìn)液管道，所述冷卻箱的頂部左側(cè)插接有尾氣出氣管，所述尾氣出氣管的頂部連接有止回閥，所述止回閥的頂部連接有尾氣進(jìn)氣管，所述冷卻箱的底部連接有沉淀箱，所述尾氣出氣管的底部貫穿沉淀箱的頂部，所述沉淀箱的左側(cè)底部廢液進(jìn)液管道，所述廢液進(jìn)液管道的左側(cè)頂部連接有抽液泵，所述抽液泵的頂部連接有廢液出液管道，所述廢液出液管道的左端套接有廢液收集管道，所述廢液收集管道的底部連接有廢液收集罐，所述廢液出液管道的外壁左端連接有第一密封套，所述廢液收集管道的內(nèi)腔右側(cè)連接有第二密封套。

優(yōu)選的，所述第一密封套與第二密封套為過盈配合。

優(yōu)選的，所述尾氣出氣管和廢液進(jìn)液管道與沉淀箱的連接處安裝有密封圈。

優(yōu)選的，所述沉淀箱為不銹鋼沉淀箱。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型在廢液傳輸管道的外壁和廢液收集管道內(nèi)增加密封套，兩組密封套之間互相配合，使得傳輸管道和廢液收集管道之間的連接更加緊密，減小了滲液的可能性，減小了偏磷酸廢液污染，且將廢液收集管道的管徑加粗，有效的防止偏磷酸堵塞管道，提高效率，節(jié)約成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型廢液收集管道剖視圖。

圖中：1冷卻箱、2冷卻液進(jìn)液管道、3尾氣出氣管、4止回閥、5尾氣進(jìn)氣管、6沉淀箱、7廢液進(jìn)液管道、8抽液泵、9廢液出液管道、10廢液收集管道、11廢液收集罐、12第二密封套、13第一密封套。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。