[實用新型]一種動態運轉設備放氣量測試裝置

有效

• 申請號: 201820358769.4
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN207850453U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 赫梓宇;趙偉利;姜秀珍;郭子學;顧夢媛;岳超;王永華
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: G01F13/00
• 分類號: G01F13/00
• 代理公司: 天津創智天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 12214
• 代理人: 周慶路

本實用新型公開了一種動態運轉設備放氣量測試裝置，包括標定容器、測試分子泵、可冷凝氣體收集器、收集容器、液氮冷阱和總分子泵機組，動態運轉設備通過密閉的氣體管路依次連通測試分子泵、可冷凝氣體收集器、收集容器、液氮冷阱和總分子泵機組，本實用新型使用分子泵及液氮冷阱，防止了裝置自身產生油蒸汽等污染物，從而能夠有效降低裝置的放氣本底；能夠將動態運轉設備中釋放的氣體全部收集至測試裝置，并將可冷凝氣體與非可冷凝氣體分開進行收集，降低了收集裝置內的升壓速率，縮小測試裝置的體積。

技術領域

本實用新型涉及測量放氣量的裝置，具體涉及一種動態運轉設備放氣量測試裝置。

背景技術

放氣量即放出的氣體流量，可表征為放出的氣體量G與放氣時間t的比值。放氣量通常采用的測量方法有定容法、定壓法、固定流導法、收集法和稱重法等。其主要針對的測試對象為樣片、放氣元件。采用以上方法進行放氣量測量時，通常需要將放氣元件等放入真空室，再進行測試。測試時，要求被測物處于靜止狀態，所使用方法及裝置通常無法有效進行動態運轉設備的放氣量測試。且由于動態運轉設備放出的氣體在設備內部分布不均勻，因而無法直接在設備上通過測量壓力以及計算升壓速率或稱重獲得。

經過分析以上方法，采用收集氣體方法可實現動態放氣測試，可以對普通的收集法進行改進實現對動態運轉設備放氣量的測試。通常收集法采用擴散泵將所有釋放出的氣體收集至一容積固定的容器，再進行總氣體量的測試，對于動態運轉設備采用該方法存在需要解決的問題。

首先擴散泵反油，引起較大本底并對動態運轉設備產生污染。且泵一旦停電，會向設備釋放油蒸汽造成壓升，破壞真空度，造成設備異常的運轉。

其次，該方法采用固定容器，通常難以拆卸清洗，多次測試后由于收集容器對真空設備釋放氣體的吸附無法徹底清洗造成裝置放氣本底提升。

最后，針對不同放氣量的動態運轉設備，無法適時按收集的氣體量多少選用更換合適容積的收集容器，造成收集時間過短或過長。目前通過查閱文獻，對于如何在設備動態運轉時進行放氣量測試的方法及裝置，未見相關描述。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，提供一種動態運轉設備放氣量測試裝置。

為解決以上動態運轉設備放氣量測試遇到的問題，實現動態運轉設備的放氣量測試，并保證動態運轉設備運行的安全，本實用新型提供一種適用于動態運轉設備放氣量測試的裝置。該裝置采用分子泵收集，消除返油問題，且分子泵在停電時保持一定抽速，此時截斷裝置與設備，保證設備真空度。該裝置可根據動態運轉設備的放氣量適時更換收集容器，實時對測試用的容積V進行準確標定。能夠將動態運轉設備中釋放的氣體全部收集至測試裝置，并將可冷凝氣體與非可冷凝氣體分開進行收集，以達到降低收集裝置內的升壓速率，減小了測試裝置的體積效果。可進行裝置內可冷凝氣體收集部件的清洗，從而降低裝置的放氣本底。可以通過測試收集裝置的總壓力P、收集時間t計算得到收集的總氣體量G以及放氣量Q。解決了以上動態運轉設備放氣量測試的技術問題。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種動態運轉設備放氣量測試裝置，包括標定容器、測試分子泵、可冷凝氣體收集器、收集容器、液氮冷阱和總分子泵機組，動態運轉設備通過密閉的氣體管路依次連通測試分子泵、可冷凝氣體收集器、收集容器、液氮冷阱和總分子泵機組，標定容器通過密閉的氣體管路連接于分子泵與動態運轉設備之間的氣體管路上，在標定容器與可冷凝氣體收集器之間連接有將測試分子泵與整體管路相隔離的氣體管路支路；所述可冷凝氣體收集器的筒體上安裝有用以實現便捷拆卸的KF法蘭(快速連接法蘭)結構。

在上述技術方案中，所述收集容器連接用于測試收集氣體的總壓力且可測量不可冷凝氣體的分壓力的第一真空計。

在上述技術方案中，所述標定容器連接用于測試標定容器內部壓力的第二真空計。