[實用新型]工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置

有效

• 申請號: 201820358332.0
• 申請日: 2018-03-16
• 公開（公告）號: CN208115496U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 鄭玲潔
• 申請（專利權）人: 鄭玲潔
• 主分類號: B01D53/80
• 分類號: B01D53/80;B01D53/70;B01D53/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置，包括第一進氣管、儲水箱、過濾水、導氣管、第二進氣管、混合罐、電動機、混合扇、第一導管、反應罐、第二導管、吸收罐、加液管、出氣管、苯溶液、止水閥、第一安裝臺、控制板、微波電漿、第二安裝臺和第三安裝臺，所述第一進氣管的一側與儲水箱連接，所述儲水箱的內部設有過濾水，所述過濾水的頂部安裝有導氣管，所述第一安裝臺的一側嵌入安裝有控制板，所述第一安裝臺的頂部通過螺栓安裝有混合罐，所述導氣管的一側通過法蘭與混合罐連接，所述混合罐的底部內側通過螺栓安裝有電動機，該尾氣回收處理裝置，具有促使四氟化碳反應和吸收四氟化碳的功能。

技術領域

本實用新型涉及尾氣處理設備技術領域，具體為工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置。

背景技術

四氟化碳分子式CF4，常溫下為無色氣體，四氟化碳只能微溶于水；對熱非常穩定，化學性質比四氯化碳更不活潑。分子呈正四面體結構。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。但此外四氟化碳也是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留在大氣層中，是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年，全球增溫(全球暖化)系數是6,500(二氧化碳的系數是1)，所以去除生產過程中不必要的四氟化碳氣體非常重要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供如下技術方案：工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置，包括第一進氣管、儲水箱、過濾水、導氣管、第二進氣管、混合罐、電動機、混合扇、第一導管、反應罐、第二導管、吸收罐、加液管、出氣管、苯溶液、止水閥、第一安裝臺、控制板、微波電漿、第二安裝臺和第三安裝臺，所述第一進氣管的一側與儲水箱連接，所述儲水箱的內部設有過濾水，所述過濾水的頂部安裝有導氣管，所述儲水箱的一側設有第一安裝臺，所述第一安裝臺的一側嵌入安裝有控制板，所述第一安裝臺的頂部通過螺栓安裝有混合罐，所述導氣管的一側通過法蘭與混合罐連接，所述混合罐的一側通過法蘭安裝有第二進氣管，所述混合罐的底部內側通過螺栓安裝有電動機，所述電動機的輸出軸上安裝有混合扇，所述混合罐的頂部通過螺栓法蘭安裝有第一導管，所述第一安裝臺的一側設有第二安裝臺，所述第二安裝臺的頂部通過螺栓安裝有反應罐，所述第一導管的一側與反應罐連接，所述反應罐的底部內側通過螺栓安裝有微波電漿，所述反應罐的頂部通過螺栓安裝有第二導管，所述第二安裝臺的一側設有第三安裝臺，所述第三安裝臺的頂部通過螺栓安裝有吸收罐，所述第二導管的一側通過法蘭與吸收罐連接，所述第二導管的內部安裝有止水閥，所述吸收罐的內部設有苯溶液，所述吸收罐的頂部一側通過法蘭安裝有出氣管，所述吸收罐的頂部另一側通過法蘭安裝有加液管，所述控制板電性連接電動機、止水閥和微波電漿。

進一步的，所述第一導管與反應罐通過法蘭連接。

進一步的，所述第二進氣管注入由氬氣、空氣、甲烷、氮氣和氧氣組成的混合氣體。

進一步的，所述第二導管與吸收罐通過法蘭連接。

與現有技術相比，本實用新型所達到的有益效果是：該工業用四氟化碳尾氣回收處理裝置，將含有四氟化碳的尾氣通過第一進氣管導入到儲水箱中，便于過濾水對四氟化碳尾氣中的氣體進行吸收；過濾完的四氟化碳將通過導氣管導入到混合罐中，再通過第二進氣管注入由氬氣、空氣、甲烷、氮氣和氧氣組成的混合氣體，操作控制板啟動電動機，電動機將帶動混合扇，便于使得四氟化碳和混合氣體充分混合；充分混合后的氣體通過第一導管導入反應罐到中，操作控制板啟動微波電漿，便于四氟化碳與混合氣體發生反應，產物有CO2、H2O、HF、NO2和未分解的四氟化碳尾，有利于避免四氟化碳對環境造成污染；最后，反應后的氣體通過第二導管導入到苯溶液中，便于對未反應的四氟化碳進行完全吸收。

附圖說明