[實用新型]自清潔拋光液輸送裝置

有效

• 申請號: 201820357514.6
• 申請日: 2018-03-15
• 公開（公告）號: CN208020018U
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 許振杰;董兵超;賈弘源;姚宇;尹士龍;崔凱;王同慶;李昆;路新春
• 申請（專利權）人: 清華大學;天津華海清科機電科技有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本實用新型公開了一種自清潔拋光液輸送裝置，自清潔拋光液輸送裝置包括：基座、懸臂、清洗裝置、用于向容水腔內供水的第一輸水管和拋光液管，基座上設有基座孔；懸臂可轉動地設在基座上，懸臂內限定出容水腔，懸臂下端設有連通容水腔的噴嘴；清洗裝置設在懸臂上方以對懸臂進行噴水清洗；第一輸水管穿過基座孔后與容水腔連通；拋光液管向上穿過基座孔后向下伸出懸臂。由此，通過基座、懸臂和清洗裝置配合，能夠把懸臂上的拋光液沖洗掉，可以保證懸臂的表面清潔，從而可以防止拋光液在懸臂上產生結晶，進而可以提升產品的拋光質量。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工設備技術領域，尤其是涉及一種自清潔拋光液輸送裝置。

背景技術

大規模集成電路生產過程中，晶圓需要經過多道工序最終形成產品，化學機械拋光是其中的一道關鍵工序。在化學機械拋光工藝中，拋光液輸送裝置懸在拋光盤上方，將拋光液從供應源輸送到拋光盤合適的落點，拋光液輸送裝置的潔凈程度會影響到晶圓拋光缺陷的數量和拋光質量的穩定性。

相關技術中，目前使用的拋光液輸送裝置存在以下問題：拋光液輸送裝置懸在拋光盤上方，拋光過程中，拋光液會飛濺到拋光液輸送裝置的表面，如果拋光液輸送裝置表面的拋光液得不到及時清理，拋光液會結晶，拋光液輸送裝置的懸臂表面的固體顆粒會越聚越多，固體顆粒掉落到拋光盤表面，會劃傷拋光過程中的晶圓，造成產品良率降低。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型提出一種自清潔拋光液輸送裝置，該自清潔拋光液輸送裝置能夠把懸臂上的拋光液沖洗掉，可以保證懸臂的表面清潔，從而可以防止拋光液在懸臂上產生結晶。

根據本實用新型的自清潔拋光液輸送裝置包括：基座、懸臂、清洗裝置、用于向容水腔內供水的第一輸水管和拋光液管，所述基座上設有基座孔；所述懸臂可轉動地設在所述基座上，所述懸臂內限定出容水腔，所述懸臂下端設有連通所述容水腔的噴嘴；所述清洗裝置設在所述懸臂上方以對所述懸臂進行噴水清洗；所述第一輸水管穿過所述基座孔后與所述容水腔連通；所述拋光液管向上穿過所述基座孔后向下伸出所述懸臂。

根據本實用新型的自清潔拋光液輸送裝置，能夠把懸臂上的拋光液沖洗掉，可以保證懸臂的表面清潔，從而可以防止拋光液在懸臂上產生結晶，進而可以提升產品的拋光質量。

可選地，所述的自清潔拋光液輸送裝置還包括第二輸水管，所述容水腔通過所述第二輸水管與所述清洗裝置相連。

進一步地，所述懸臂包括：第一本體、噴嘴座和罩殼，所述第一本體包括彼此相連的固定部和懸掛部，所述固定部設在所述基座上；所述噴嘴座設在所述懸掛部的底部，所述噴嘴設在所述噴嘴座底部，所述容水腔形成在所述噴嘴座內；所述罩殼設在所述第一本體的上方，所述清洗裝置設在所述罩殼上方以對朝向所述罩殼噴水。

具體地，所述容水腔的靠近所述固定部的一端設有出水口，所述第二輸水管連接在所述出水口處。

可選地，所述噴嘴座的頂壁中部設有與所述容水腔連通的連接管，所述連接管穿過所述懸掛部后與所述第一輸水管相連。

可選地，所述第一輸水管與所述清洗裝置相連以向所述清洗裝置供水。

進一步地，所述清洗裝置包括：第二本體，所述第二本體內部設有中心孔，所述第二本體的壁上設有與所述中心孔連通的進水口和噴水口，所述進水口用于進水，所述噴水口用于朝向所述懸臂噴水。

具體地，所述第二本體設在所述懸臂頂部且傾斜設置。

附圖說明

圖1是根據本實用新型實施例的自清潔拋光液輸送裝置的剖視圖；

圖2是根據本實用新型實施例的自清潔拋光液輸送裝置的基座的局部結構示意圖；

圖3是根據本實用新型實施例的自清潔拋光液輸送裝置的清洗裝置的立體視角的半剖視圖；