[實用新型]一種組合節流閥

有效

• 申請號: 201820352057.1
• 申請日: 2018-03-14
• 公開（公告）號: CN207975273U
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 劉忠林;畢凱
• 申請（專利權）人: 嘉興岱源真空科技有限公司
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/03;F16K27/04;F16K31/04;F16K31/53
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 姚海波

一種組合節流閥，包括插板閥及旋轉葉片閥，所述插板閥具有閥板及用于驅動閥板移動的驅動裝置，所述旋轉葉片閥包括電機、蝸桿、齒輪環、若干葉片及若干小齒輪，當驅動裝置驅動閥板移動至第二狀態時，電機驅動蝸桿轉動，蝸桿帶動齒輪環旋轉，從而帶動若干小齒輪對應轉動，從而使得葉片的大頭端遠離或靠近流體管道的中心方向移動，如此可以調節流體管道中心的開口大小，從而調節流體管道的流體流量，適應不同工況需要。

技術領域

本實用新型涉及納米材料制作領域，特別是一種組合節流閥。

背景技術

濺射法制作納米材料的方式有：磁控濺射、偏壓濺射及反應濺射等。其中磁控濺射的原理為：電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區域內，該區域內等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動。

在納米材料的制作過程中，需要供給氬氣及散熱液等。氬氣或散熱液在管道中的通斷由節流閥控制。現有的節流閥一般采用插板閥，只能在全開和全閉兩個狀態切換，不能夠調節氬氣或散熱液的流量大小。而不同的工況需要不同流量的氬氣或散熱液，現有技術中，在不同的工況下需使用不同的納米材料制作設備，不同的納米材料制作設備具有不同規格的流體管道及插板閥。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種可調流量、適應于不同工況的可調流量的組合節流閥，以解決上述問題。

一種組合節流閥，用于調節流體管道內的流體流量，包括插板閥及旋轉葉片閥，所述插板閥與旋轉葉片閥平行間隔設置且均至少部分地垂直位于流體管道中，所述插板閥具有閥板及用于驅動閥板移動的驅動裝置，所述閥板具有完全位于流體管道內的第一狀態及完全打開流體管道的第二狀態，所述旋轉葉片閥包括電機、蝸桿、齒輪環、若干葉片及若干小齒輪，所述齒輪環的外周面上設有渦輪，內周面上設有齒槽，所述蝸桿與電機的輸出軸連接，且與齒輪環的渦輪嚙合，所述小齒輪轉動設置于流體管道上，所述小齒輪與齒輪環的齒槽嚙合，所述葉片具有大頭端及小頭端，小頭端與小齒輪連接，大頭端為自由端。

進一步地，所述流體管道具有外管及內管，內管中空形成流體通道，所述小齒輪轉動設置于流體管道的內管上，所述外管從外側包覆齒輪環。

進一步地，所述小齒輪通過固定板與流體管道連接，所述小齒輪轉動連接于固定板上，所述固定板與流體管道或者流體管道的內管連接。

進一步地，所述齒輪環、小齒輪或葉片中任意一個或多個的最大轉動角度為50-70度。

進一步地，所述齒輪環、小齒輪或葉片中任意一個或多個的最大轉動角度為62度。

進一步地，所述齒輪環的一個側面開設有環形的第一凹槽，若干旋轉軸承位于該凹槽中，所述齒輪環通過凹槽與旋轉軸承轉動連接，所述旋轉軸承通過固定軸與流體管道連接。

進一步地，所述第一凹槽的底部還開設有與第一凹槽垂直的第二凹槽，第二凹槽的寬度大于第一凹槽的寬度，所述旋轉軸承位于第二凹槽中，且旋轉軸承的直徑大于第一凹槽的寬度。

與現有技術相比，本實用新型的組合節流閥包括插板閥及旋轉葉片閥，所述插板閥具有閥板及用于驅動閥板移動的驅動裝置，所述旋轉葉片閥包括電機、蝸桿、齒輪環、若干葉片及若干小齒輪，當驅動裝置驅動閥板移動至第二狀態時，電機驅動蝸桿轉動，蝸桿帶動齒輪環旋轉，從而帶動若干小齒輪對應轉動，從而使得葉片的大頭端遠離或靠近流體管道的中心方向移動，如此可以調節流體管道中心的開口大小，從而調節流體管道的流體流量，適應不同工況需要。

附圖說明

以下結合附圖描述本實用新型的實施例，其中：