[實用新型]反應腔室用觀察窗組件及反應腔室

有效

• 申請號: 201820348000.4
• 申請日: 2018-03-14
• 公開（公告）號: CN208142129U
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 李萌
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，包括觀察窗和保護件，所述保護件套設在所述觀察窗的外周壁上，用于防止所述觀察窗受外力不當而破碎。

2.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述觀察窗的朝向反應腔室底部的端面凸出于所述保護件的朝向反應腔室底部的端面。

3.根據權利要求2所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述保護件包括壓緊環和支撐環，所述壓緊環和所述支撐環分別套設在所述觀察窗的外周壁上，且二者通過連接件連接。

4.根據權利要求3所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述觀察窗包括呈臺階狀的圓柱結構，沿所述反應腔室頂部至底部的方向，所述觀察窗分別具有第一端面、第二端面和第三端面，且位于頂部的圓柱的直徑大于位于底部的圓柱的直徑。

5.根據權利要求4所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，還包括緩沖環，所述壓緊環能將所述緩沖環壓緊于所述第一端面上，和/或，所述支撐環能將所述緩沖環壓緊于所述第二端面上。

6.根據權利要求3-5任一項所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述連接件為螺釘，所述螺釘沿所述觀察窗的軸向安裝。

7.根據權利要求5所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述壓緊環和/或所述支撐環由鋁制成；所述緩沖環由銅制成。

8.一種反應腔室，其特征在于，包括根據權利要求1-7中任一項所述的反應腔室用觀察窗組件。

9.根據權利要求8所述的反應腔室，其特征在于，所述反應腔室用觀察窗組件水平設置于反應腔室內，所述觀察窗與所述反應腔室之間設有密封件；

所述觀察窗包括呈臺階狀的圓柱結構，沿所述反應腔室頂部至底部的方向，所述觀察窗分別具有第一端面、第二端面和第三端面，當所述觀察窗受到朝向所述反應腔室底部的作用力時，所述觀察窗的第三端面能與所述密封件接觸。

10.根據權利要求9所述的反應腔室，其特征在于，所述反應腔室的側壁上設有密封槽，所述密封件設于所述密封槽中。