[實(shí)用新型]XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820346064.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207964688U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉逸欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建中科光芯光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/207
• 分類號(hào): G01N23/207
• 代理公司: 福州元?jiǎng)?chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學(xué)俊;丘鴻超

本實(shí)用新型提出一種XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置，其載物臺(tái)本體上設(shè)置有多個(gè)可相對(duì)載物臺(tái)平面滑動(dòng)的夾持裝置；所述夾持裝置包括可相對(duì)于開(kāi)設(shè)在載物臺(tái)平面上的滑槽滑動(dòng)的夾塊，以及設(shè)置于夾塊與測(cè)試品接觸一側(cè)，且開(kāi)口朝上的真空吸孔；所述真空吸孔通過(guò)真空管路連接設(shè)置在載物臺(tái)本體之外的真空泵。本實(shí)用新型技術(shù)方案及其優(yōu)選方案結(jié)構(gòu)精巧、成本低廉，不僅大大拓展了普通XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置的適用范圍和易用性，也降低了操作的難度和時(shí)間成本，適用于研發(fā)生產(chǎn)的需求，具備較高的市場(chǎng)價(jià)值和推廣前景。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于X射線衍射測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有真空吸孔和夾塊的XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的X射線衍射（XRD）織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)測(cè)試樣品時(shí)，僅用常規(guī)的夾塊夾住樣品，當(dāng)測(cè)試易碎樣品如襯底片時(shí)，夾得太緊容易導(dǎo)致樣品破裂，夾得太松容易導(dǎo)致樣品掉落，而且在測(cè)試非圓形樣品（例如二分之一圓襯底片、四分之一圓襯底片等）時(shí)，存在樣品夾不緊、容易滑落的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足和空白，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置，其特征在于：載物臺(tái)本體上設(shè)置有多個(gè)可相對(duì)載物臺(tái)平面滑動(dòng)的夾持裝置；所述夾持裝置包括可相對(duì)于開(kāi)設(shè)在載物臺(tái)平面上的滑槽滑動(dòng)的夾塊，以及設(shè)置于夾塊與測(cè)試品接觸一側(cè)，且開(kāi)口朝上的真空吸孔；所述真空吸孔通過(guò)真空管路連接設(shè)置在載物臺(tái)本體之外的真空泵。

優(yōu)選地，所述真空管路連接真空吸孔，且位于載物臺(tái)內(nèi)部的一段為真空軟管。

優(yōu)選地，所述真空管路至少包括一段真空波紋管。

優(yōu)選地，所述多個(gè)夾持裝置的真空吸孔對(duì)應(yīng)的真空管路通過(guò)真空匯總管道連接至真空泵。

優(yōu)選地，所述真空管路設(shè)置有吸力調(diào)節(jié)裝置。

優(yōu)選地，所述夾持裝置中，真空軟管布設(shè)在夾塊的夾持凸起部下側(cè)，真空吸孔與夾塊同步滑動(dòng)。

優(yōu)選地，所述夾塊下部通過(guò)彈簧連接滑片；所述滑片與載物臺(tái)水平滑動(dòng)連接。

優(yōu)選地，所述真空管路進(jìn)入載物臺(tái)內(nèi)部通道的側(cè)壁上設(shè)置有滾輪。

優(yōu)選地，所述夾持裝置共有三個(gè)，呈正三角對(duì)稱分布在載物臺(tái)上，且其水平滑動(dòng)方向朝向正三角的中心。

優(yōu)選地，所述載物臺(tái)本體固定在測(cè)試儀的基底上部，且與基底平行。

本實(shí)用新型技術(shù)方案及其優(yōu)選方案結(jié)構(gòu)精巧、成本低廉，不僅大大拓展了普通XRD織構(gòu)測(cè)試儀載物臺(tái)裝置的適用范圍和易用性，也降低了操作的難度和時(shí)間成本，適用于研發(fā)生產(chǎn)的需求，具備較高的市場(chǎng)價(jià)值和推廣前景。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1.本裝置擴(kuò)展了現(xiàn)有的XRD織構(gòu)測(cè)試儀的功能，使之能更加牢固的固定住樣品，提高對(duì)樣品XRD織構(gòu)測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，大大降低了工作難度，提高了測(cè)量效率，降低了對(duì)測(cè)試樣品造成損害的幾率；

2.本裝置擴(kuò)展了現(xiàn)有的XRD織構(gòu)測(cè)試儀的所能測(cè)試的樣品范圍，使之不再只能測(cè)試表面為規(guī)則幾何形狀的片狀樣品，也能夠測(cè)試表面為不規(guī)則幾何形狀的片狀樣品。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明：

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)主視示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)俯視示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)主剖視示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)側(cè)剖視示意圖；