[實(shí)用新型]一種用于研磨拋光設(shè)備的修整環(huán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820338612.5
• 申請(qǐng)日: 2018-03-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208084106U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海致領(lǐng)半導(dǎo)體科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/34
• 分類號(hào): B24B37/34;B24B57/02
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• 代理人: 暫無(wú)信息

一種用于研磨拋光設(shè)備的修整環(huán)，該修整環(huán)包括環(huán)體和研磨體，研磨體由多個(gè)圓柱體組成，圓柱體的端面與環(huán)體的端面緊固連接，圓柱體均勻?qū)ΨQ分布在所述環(huán)體的端面上，圓柱體采用陶瓷材料制成，環(huán)體是金屬材料制成。通過(guò)為研磨拋光機(jī)提供的圓柱形陶瓷修整環(huán)，利用圓柱體與圓柱體之間的較大的圓滑空間，更加利于研磨液的研磨盤上的流動(dòng)，使得研磨液在研磨盤上分布更加均勻，提高了工件平整度的研磨效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于研磨拋光設(shè)備的修整環(huán)。

背景技術(shù)

中國(guó)專利文獻(xiàn)CN101148026A，公開(kāi)了“一種修整環(huán)型智能超精密拋光機(jī)，包括機(jī)座、拋光盤、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、測(cè)速機(jī)構(gòu)以及智能控制平臺(tái)、所述拋光盤通過(guò)主軸安裝在機(jī)座上，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸與主軸傳動(dòng)連接，所述主軸與測(cè)速機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，所述的智能控制平臺(tái)連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和測(cè)速機(jī)構(gòu)，所述的超精密拋光機(jī)還包括修整環(huán)、修整環(huán)保持架，所述的修整環(huán)內(nèi)安裝用于夾裝工件的基盤，所述的修整環(huán)位于所述拋光盤的上方，所述的修整環(huán)保持架安裝在機(jī)座上，所述修正環(huán)保持架設(shè)有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的兩端設(shè)有摩擦輪，所述的修整環(huán)嵌入所述弧形段并靠接在兩個(gè)摩擦輪上，且所述修整環(huán)與所述弧形段之間有間隙”。在這個(gè)文獻(xiàn)中提及的修整環(huán)是研磨拋光設(shè)備中會(huì)用到的一種部件。

就發(fā)明人所知，修整環(huán)有一種是圓環(huán)形的，這種修整環(huán)包括金屬環(huán)體，以及與金屬環(huán)體固定連接的多個(gè)陶瓷體，這些陶瓷體均勻分布在金屬環(huán)體上，且呈現(xiàn)為塊狀，如圖2所示。不過(guò)，這種形式的修整環(huán)的塊狀陶瓷體，在修整環(huán)工作時(shí)，有時(shí)候會(huì)遇到研磨液流動(dòng)不暢的問(wèn)題，這是因?yàn)閴K狀結(jié)構(gòu)的棱角形狀不利于研磨液流程造成的。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種用于研磨拋光設(shè)備的修整環(huán)，目的在于解決現(xiàn)有修整環(huán)在工作時(shí)，不利于研磨液流動(dòng)，導(dǎo)致研磨不均勻的問(wèn)題。

本實(shí)用新型的實(shí)施例之一是，一種用于研磨拋光設(shè)備的修整環(huán)，該修整環(huán)包括環(huán)體和研磨體。研磨體由多個(gè)圓柱體組成，所述的圓柱體的端面與環(huán)體的端面緊固連接。所述的圓柱體均勻?qū)ΨQ分布在所述環(huán)體的端面上。

進(jìn)一步的，所述圓柱體采用陶瓷材料制成。所述的環(huán)體是金屬材料制成。所述的圓柱體的端面與環(huán)體的端面用黏結(jié)的方式緊固連接。

本實(shí)用新型取得的有益效果之一是，通過(guò)為研磨拋光機(jī)提供的圓柱形陶瓷修整環(huán)，利用圓柱體與圓柱體之間的較大的圓滑空間，更加利于研磨液的研磨盤上的流動(dòng)，使得研磨液在研磨盤上分布更加均勻，提高了工件平整度的研磨效果。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參考附圖閱讀下文的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型示例性實(shí)施方式的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得易于理解。在附圖中，以示例性而非限制性的方式示出了本實(shí)用新型的若干實(shí)施方式，其中：

圖1本實(shí)用新型實(shí)施例中涉及的研磨拋光設(shè)備示意圖。

圖2本實(shí)用新型涉及的現(xiàn)有的一種修整環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3本實(shí)用新型實(shí)施例中的修整環(huán)示意圖。

圖4本實(shí)用新型實(shí)施例中兩種形式修整環(huán)的研磨液的流動(dòng)比較圖。1——?dú)飧字Ъ埽?——?dú)飧祝?——壓力盤，4——控制顯示器，5——研磨盤，6——第一修整環(huán)，7——導(dǎo)輪，8——導(dǎo)輪臂，9——桌面，10——機(jī)架，100——第二修整環(huán)，101——圓柱陶瓷體，102——金屬環(huán)體。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，在一些實(shí)施例中，研磨拋光設(shè)備包括，機(jī)架、置于機(jī)架上的桌面、以及安裝在桌面上的氣缸支架。在氣缸支架上垂直安裝有3個(gè)氣缸，每個(gè)氣缸運(yùn)動(dòng)部都安裝有壓力盤。

壓力盤下方的桌面上，安裝有可被電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的研磨盤。在研磨盤的邊緣處安裝有3個(gè)導(dǎo)輪臂，導(dǎo)輪臂的兩端各有一個(gè)導(dǎo)輪。修整環(huán)被置于研磨盤上，被導(dǎo)輪臂的導(dǎo)輪夾持。