[實用新型]一種用于原子力顯微鏡的簡易彈簧懸掛裝置

有效

• 申請號: 201820327449.2
• 申請日: 2018-03-12
• 公開（公告）號: CN207964873U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 韓雄;都有為;錢鋒;王矛宏;王辰成
• 申請（專利權）人: 蘇州飛時曼精密儀器有限公司
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于原子力顯微鏡的簡易彈簧懸掛裝置，屬于精密測量儀器減震領域；本實用新型為了解決現有技術中的顯微鏡的減震平臺造價高，簡易減震裝置結構不合理，不能滿足日常工作需求的問題；本實用新型的AFM底座通過均勻周向布置在AFM底座上端的柱狀拉簧懸掛在架體的上部，AFM底座下端面與架體下端面之間的距離為2?10cm，相鄰兩柱狀拉簧的中心軸線的夾角范圍為30?45°；本實用新型完全可以媲美主動式減震臺，極大的降低了原子力顯微鏡的成本，使用方便，提高了儀器的使用穩定性。

技術領域

一種顯微鏡減震裝置屬于精密測量儀器減震領域，主要涉及一種用于原子力顯微鏡的簡易彈簧懸掛裝置。

背景技術

原子力顯微鏡（AFM）是一種可用來研究包括絕緣體在內的固體材料表面微觀結構的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質的表面結構及性質。將一對微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發生形變或運動狀態發生變化。掃描樣品時，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級分辨率獲得表面形貌結構信息及表面粗糙度信息。它是當前世界上分辨率最高的表面三維輪廓測量儀器，是材料科學研究及納米檢測領域中不可或缺的檢測設備。

我們知道原子之間的相互作用力是非常微小的，AFM在工作時，探針和樣品之間的距離非常小，這個距離的長度是納米級的，而且兩者之間不能觸碰需維持一個恒定的距離，這對探針與樣品之間的穩定性要求很高。因此為了使AFM能夠穩定正常的工作，通常我們需要給AFM配置一個減震裝置。當前市場上用于原子力顯微鏡的減震裝置有很多種，一般分為主動式減震裝置和被動式減震裝置。主動式減震裝置減震效果好，但是非常昂貴，而且能承受的負載較小，許多較重的AFM儀器是不能使用的。被動式減震臺種類較多，使用較普遍的是氣動式光學減震臺，氣動式光學減震臺非常笨重，占用空間大，而且還需要配備氣泵等輔助設備，需要定時充氣比較麻煩。現有技術雖然也有簡便式的減震裝置，但是由于其結構不合理，儀器的穩定性不能滿足人們的需求。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型公開了一種用于原子力顯微鏡的簡易彈簧懸掛裝置，結構簡單，完全可以媲美主動式減震臺，極大的降低了原子力顯微鏡的成本，提高了儀器的使用穩定性。

本實用新型的目的是這樣實現的：

一種用于原子力顯微鏡的簡易彈簧懸掛裝置，包括架體和若干柱狀拉簧，原子力顯微鏡位于架體內部，所述原子力顯微鏡包括上AFM底座，AFM底座上端固定有AFM探頭，所述AFM底座通過均勻周向布置在AFM底座上端的柱狀拉簧懸掛在架體的上部，AFM底座下端面與架體下端面之間的距離為2-10cm，相鄰兩柱狀拉簧的中心軸線的夾角范圍為30-45°。

進一步的，所述架體的下端面上周向安裝有減震腳墊。

進一步的，所述架體的上端設有若干圓形的上吊環，AFM 底座的上端面上設有若干柱狀下吊環，柱狀拉簧的上端設有圓形扣環，柱狀拉簧的下端設有掛鉤，所述圓形扣環與上吊環建立連接，掛鉤與下吊環建立連接。

進一步的，所述AFM底座的底板上開有若干周向布置且豎直方向貫通的安裝孔，架體的下端面上具有與安裝孔位置匹配對應的螺紋孔。

進一步的，所述架體包括平行布置的上頂板和下底板，上頂板和下底板之間設有若干支撐桿，上頂板上設有若干通孔，通孔位置處的上頂板的周向側壁上設有螺釘，支撐桿下端嵌插入下底板內，支撐桿的上端插入所述通孔內，螺釘的一端穿過上頂板的側壁與所述支撐桿抵靠連接。

進一步的，所述柱狀拉簧的個數為四個，均勻分布在AFM底座上端面的每個角落處。

進一步的，所述柱狀拉簧為變節距彈簧。