[實(shí)用新型]一種靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820325806.1
• 申請(qǐng)日: 2018-03-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208013277U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪海濤;徐紹宸;李富海;劉晨穎;陳思遙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吸力奇跡（北京）科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R19/00
• 分類號(hào): G01R19/00;G01R29/12
• 代理公司: 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11577
• 代理人: 李芙蓉;孫進(jìn)華

1.一種靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用于雙極性靜電吸盤(1)；其中，雙極性靜電吸盤(1)包括第一輸入端(11)和第二輸入端(12)；

所述靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：PLC控制器(2)、電壓表(3)、電流表(4)和電場(chǎng)強(qiáng)度探頭(5)；其中，

電壓表(3)并聯(lián)在第一輸入端(11)和第二輸入端(12)之間；電壓表(3)通過(guò)第一數(shù)據(jù)線(31)與PLC控制器(2)連接；第一數(shù)據(jù)線(31)為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線；

第二輸入端(12)接入電流表(4)；電流表(4)通過(guò)第二數(shù)據(jù)線(41)與PLC控制器(2)連接；第二數(shù)據(jù)線(41)為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線；

電場(chǎng)強(qiáng)度探頭(5)內(nèi)埋于雙極性靜電吸盤(1)接觸層內(nèi)；電場(chǎng)強(qiáng)度探頭(5)通過(guò)第三數(shù)據(jù)線(51)與PLC控制器(2)連接；第三數(shù)據(jù)線(51)為I2C數(shù)據(jù)總線或RS232總線；

電流表(4)檢測(cè)到的第一電流＞預(yù)設(shè)電流時(shí)，PLC控制器(2)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)電流為雙極性靜電吸盤(1)正常工作電流的1.15-1.3倍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，電壓表(3)的內(nèi)阻≥100G歐。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，電流表(4)的靈敏度小于等于1nA。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，電場(chǎng)強(qiáng)度探頭(5)為MEMS電場(chǎng)強(qiáng)度探頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靜電吸附裝置監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述MEMS電場(chǎng)強(qiáng)度探頭為薄片型MEMS電場(chǎng)強(qiáng)度探頭。