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[實(shí)用新型]成像系統(tǒng)有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201820313092.2 申請(qǐng)日: 2018-03-07
公開(kāi)(公告)號(hào): CN207894810U 公開(kāi)(公告)日: 2018-09-21
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 達(dá)尼洛·孔代洛;西蒙·普林斯;約翰·奧肖內(nèi)西;克里斯多佛·西格爾;阿什肯·阿里安普爾 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 伊魯米那股份有限公司
主分類號(hào): G01N21/01 分類號(hào): G01N21/01
代理公司: 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262 代理人: 張瑞;楊明釗
地址: 美國(guó)加利*** 國(guó)省代碼: 美國(guó);US
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 聚焦透鏡 成像系統(tǒng) 光束分離器 圖像傳感器 光束聚焦 樣品反射 光路 光源 光斑 屋脊棱鏡 定位處 光束腰 成像 輸出 創(chuàng)建 申請(qǐng)
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種成像系統(tǒng),包括:

光源;

第一聚焦透鏡,其定位成將來(lái)自所述光源的光束聚焦到在沿著所述成像系統(tǒng)中的所述光束的光路的預(yù)定定位處的光束腰;

光束分離器,其相對(duì)于所述第一聚焦透鏡來(lái)定位以接收來(lái)自所述第一聚焦透鏡的所述光束并創(chuàng)建第一光束和第二光束;

第二聚焦透鏡,其定位成接收由所述光束分離器輸出的所述第一光束和第二光束以將所接收的第一光束和第二光束聚焦到尺寸被設(shè)計(jì)成落在待成像的樣品內(nèi)的光斑,并且還定位成接收從所述樣品反射的第一光束和第二光束;

圖像傳感器,其定位成接收從所述樣品反射的光束;以及

屋脊棱鏡,其定位于在所述第二聚焦透鏡和所述圖像傳感器之間的所述光路中,所述屋脊棱鏡被設(shè)計(jì)尺寸以使從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束會(huì)聚到所述圖像傳感器上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,所述光源包括激光器和光纖,所述光纖包括第一端和第二端,所述光纖的第一端連接成接收來(lái)自所述激光器的輸出,其中,所述第一聚焦透鏡定位于離所述光纖的第二端預(yù)定距離處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成像系統(tǒng),其中,使用所述第一聚焦透鏡的焦距來(lái)確定在所述第一聚焦透鏡和所述光纖的第二端之間的所述預(yù)定距離以將所述光束腰放置在沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位處。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成像系統(tǒng),還包括安裝結(jié)構(gòu)以容納所述第一聚焦透鏡并維持在所述第一聚焦透鏡和所述光纖的第二端之間的空間關(guān)系,所述安裝結(jié)構(gòu)包括:

主體部分,其界定腔;以及

插入件,其可滑動(dòng)地安裝在所述主體部分的所述腔內(nèi),其中,所述插入件包括圓柱形腔,所述圓柱形腔包括相鄰于所述第一聚焦透鏡的第一端和相鄰于所述光纖的第二端的第二端,進(jìn)一步其中所述插入件在所述腔內(nèi)線性地可調(diào)整以改變?cè)谒龅谝痪劢雇哥R和所述光纖的第二端之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的成像系統(tǒng),還包括鎖定機(jī)構(gòu)以將所述插入件的位置固定在所述主體部分內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,所述第一聚焦透鏡是平凸透鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位在大約600mm和800mm之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,選擇用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位,使得從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束的在所述圖像傳感器上的光斑尺寸在彼此的3-10個(gè)像素內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,選擇用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位,使得從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束的在所述圖像傳感器上的光斑尺寸在彼此的4-7個(gè)像素內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,選擇用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位,使得從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束的在所述圖像傳感器上的光斑尺寸在彼此的5個(gè)像素內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,選擇用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位,使得從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束的在所述圖像傳感器上的光斑尺寸在直徑上不大于大約300μm。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像系統(tǒng),其中,選擇用于所述光束腰的沿著所述光束的所述光路的所述預(yù)定定位,使得從所述樣品反射的所述第一光束和第二光束的在所述圖像傳感器上的光斑尺寸在直徑上不大于495μm。

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