[實用新型]一種適用于CVD金剛石制備的新型散熱結構有效
| 申請號： | 201820307332.8 | 申請日： | 2018-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN207904363U | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 武迪;鄭大平;朱瑞;楊明;徐元成 | 申請（專利權）人： | 湖北碳六科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/27 | 分類號： | C23C16/27;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人： | 楊采良 |
| 地址： | 443400 湖北省宜*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 樣品臺 低熔點金屬粉末 新型散熱結構 散熱 小槽 制備 熔化 本實用新型 金剛石沉積 樣品臺表面 金屬粉末 緊密貼合 內部填充 能量傳遞 溫度過程 樣品加熱 石墨 基片臺 堆積 阻擋 吸收 | ||
【權利要求書】：
1.一種適用于CVD金剛石制備的新型散熱結構，包括基片臺和散熱樣品臺，其特征在于：所述散熱樣品臺上放置樣品的位置開有一個略小于樣品長寬尺寸的小槽，所述小槽內部填充有低熔點金屬粉末，所述樣品位于金屬粉末之上。
2.根據權利要求1所述的一種適用于CVD金剛石制備的新型散熱結構，其特征在于：所述樣品的長寬高尺寸為10mm×10mm×3mm，所述小槽的尺寸為8mm×8mm×2mm。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
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C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
