[實用新型]一種可變光路的光學顯微鏡檢測設備

有效

• 申請號: 201820301010.2
• 申請日: 2018-03-05
• 公開（公告）號: CN208026654U
• 公開（公告）日: 2018-10-30
• 發明（設計）人: 許孟凱;陳勝男;林張鴻;邱文宗;林偉銘;陳智廣;吳淑芳
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本實用新型提供一種可變光路的光學顯微鏡檢測設備，包括第一發光單元、第二發光單元、半反射鏡、物鏡單元和載物臺機構。通過第一發光單元和第二發光單元提供不同波長的可變光，進而在光路引導單元中形成兩個方向相反的光路，通過切換光路的照射方向，使得檢測設備可呈現出生物顯微鏡和金相顯微鏡的功能，進而對不同的銦錫氧化物進行檢測。而人們通過觀測機構就可以對銦錫氧化物進行檢測，由于銦錫氧化物對紅外光不透光的特性，通過可變光源的紅外光來源以及紅外光光致熒光呈相機構，更準確的檢測出銦錫氧化物的產品。

技術領域

本實用新型涉及顯微鏡領域，尤其涉及變光路的光學顯微鏡檢測設備。

背景技術

銦錫氧化物是一種具有透光特性的半導體導電材料，并用來制備各類半導體器件如：薄膜晶體管平面顯示器、發光二極管、太陽能電池、氣體傳感器和垂直腔面發射機光器等需要透明導電薄膜工藝的器件。一般銦錫氧化物在可見光光譜波段可呈現良好的透光效率，而在深紫外光以及紅外光中則呈現反射特性。故除了電子器件所需的光電透光應用外，銦錫氧化物亦可用于車大樓玻璃外墻以及車用前擋玻璃的制紅外線遮光應用。

一般銦錫氧化物工藝是采用濺鍍法進行工藝施作,再透過黃光以及蝕刻工藝達到器件所需的圖像化效果，進而依序完成透明導電膜的制作。光學顯微鏡目檢方式是一般常見的方法，用來檢視圖像化工藝后的銦錫氧化物薄膜。而在薄膜晶體管平面顯示器相關產業中，由于玻璃襯底也兼具良好透光特性，故會增加光學目檢的困難度。而在進行目檢時，只能通用光學顯微鏡肉眼觀察或監測，在襯底為透明狀態下易形成目檢誤差，導致產品良率瑕疵。

實用新型內容

為此，需要提供一種可變光路的光學顯微鏡檢測設備，解決目檢容易形成誤差，導致產品不良率高的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種可變光路的光學顯微鏡檢測設備，包括第一發光單元、第二發光單元、半反射鏡、物鏡單元和載物臺機構；

所述第一發光單元與第二發光單元相對設置，載物臺機構的載物平臺上的通光孔位于第一發光單元的光路上，以及載物臺機構的載物平臺上的通光孔也位于第二發光單元的光路上，物鏡單元的入射端對準載物臺的通光孔，所述半反射鏡的反射面朝向物鏡單元的出射端設置，所述物鏡單元是具有紅外光致熒光呈現功能的物鏡；

載物臺機構用于接收第一發光單元的光束時載物臺機構的載物平臺上的通光孔開啟，以及載物臺機構用于接收第二發光單元的光束時載物臺機構的載物平臺上的通光孔閉合。

進一步地，還包括觀測機構，觀測機構包括目鏡、棱鏡反射組和補助透鏡，補助透鏡設置在半反射鏡的反射光路上，棱鏡反射組設置在補助透鏡與目鏡之間，棱鏡反射組用于反射光束到目鏡上。

進一步地，還包括同步電路單元，同步電路單元與第一發光單元電連接，同步電路單元與第二發光單元電連接，同步電路單元用于協調控制第一發光單元或第二發光單元發光時載物臺上通光孔的開啟或閉合。

進一步地，還包括光源機構，光源機構包括第一發光單元、第二發光單元和光路引導單元，第一發光單元設置在光源機構的一側面上，第二發光單元設置在光源機構的另一側面上，光路引導單元用于引導第一發光單元形成一個環形光路，且光路引導單元用于引導第二發光單元形成一個與第一發光單元方向相反的環形光路。

進一步地，所述載物臺機構還包括三軸控制器和載物平臺，所述載物平臺的通光孔上設置有遮光板，同步電路單元設置有同步開關，同步開關設置在載物平臺的內部空腔上，同步開關與遮光板連接，載物平臺的通光孔位于光路引導單元的環形光路上，三軸控制器設置在載物平臺的一側。

進一步地，所述光源機構還包括切換單元，切換單元的第一輸出端與第一發光單元電連接，切換單元的第二輸出端與第二發光單元電連接，所述切換單元的輸入端與同步電路單元電連接。