[實用新型]一種激光燒蝕薄膜制備設備有效
| 申請號： | 201820299225.5 | 申請日： | 2018-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN207944150U | 公開（公告）日： | 2018-10-09 |
| 發明（設計）人： | 劉全生;張希艷;柏朝暉;王曉春;孫海鷹;王能利;米曉云;盧利平 | 申請（專利權）人： | 長春理工大學 |
| 主分類號： | C23C26/00 | 分類號： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331 | 代理人： | 陸曉鷹 |
| 地址： | 130022 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜制備設備 電源控制系統 冷卻水控制 功率控制 激光電源 激光燒蝕 位移控制 選配件 總電源 計算機系統 電源 本實用新型 電性連接 多元薄膜 高壓作用 激光技術 激光系統 冷卻系統 真空氣氛 制造成本 氮化物 控制式 體積小 樣品室 熱源 氧化物 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光燒蝕薄膜制備設備，由電源控制系統、激光系統、樣品室、冷卻系統和真空氣氛系統五部分組成；所述電源控制系統包含：總電源、激光電源功率控制、冷卻水控制、選配件位移控制電源；并且所述總電源、激光電源功率控制、冷卻水控制、選配件位移控制電源、以及計算機系統之間為控制式電性連接，并且通過一計算機系統及軟件形成控制；
所述激光系統包含：激光器、輸出端口耦合部件、光束調控裝置、光纖、樣品室耦合裝置；所述激光器、輸出端口耦合部件和光束調控裝置形成機械式控制連接，且所述樣品室耦合裝置和光束調控裝置之間通過光纖形成控制式連接；同時所述激光器和總電源形成電性連接；
所述樣品室包含：位于真空氣氛室內的位移臺、第一樣品臺、溫度控制裝置、測溫裝置、第二樣品臺、觀察窗口、開關；同時，第一樣品臺位于位移臺的上端，測溫裝置位于第二樣品臺的上端，溫度控制裝置位于測溫裝置的右端，以及，觀察窗口和開關位于真空氣氛室的側邊；
所述冷卻系統包含：制冷裝置、閥門、管道、循環泵；所述制冷裝置位于激光器底部，并通過循環泵和激光器形成連接，以及通過管道和封閉箱體形成連接，并且在激光器和管道之間設有閥門；
所述真空氣氛系統包含：泵、氣瓶、氣路、氣閥；所述泵、氣瓶均通過氣路和封閉箱體形成連接；并且在氣路上設有氣閥。
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