[實用新型]一種便于取出硅片的硅片存放裝置

有效

• 申請號: 201820297727.4
• 申請日: 2018-03-05
• 公開（公告）號: CN207993832U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 朱運權
• 申請（專利權）人: 揚州市萬達光電有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種便于取出硅片的硅片存放裝置，包括存放箱本體(4)，其特征在于，所述存放箱本體(4)的底部設置有固定箱體(2)，所述固定箱體(2)的外部滑動連接有活動箱體(1)，所述固定箱體(2)上端面的側邊轉動連接有翻蓋(3)，所述固定箱體(2)和活動箱體(1)組成的腔體內部等距設置有多個隔板(6)，所述隔板(6)的一側端面的四個拐角處均設置有凸臺(7)，所述凸臺(7)的上端面開設有彈簧固定凹槽(8)，所述隔板(6)的另一側端面對應凸臺(7)所在位置處開設有凸臺連接槽(10)，所述隔板(6)的兩側端面均對稱設置有夾持塊(9)，且相鄰位置的兩個隔板(6)之間的凸臺連接槽(10)和彈簧固定凹槽(8)之間連接有彈簧(5)。

2.根據權利要求1所述的一種便于取出硅片的硅片存放裝置，其特征在于，所述凸臺(7)的外部截面輪廓為等腰梯形。

3.根據權利要求1所述的一種便于取出硅片的硅片存放裝置，其特征在于，所述凸臺連接槽(10)內部截面輪廓為等腰梯形，且凸臺連接槽(10)的最大內徑等于凸臺(7)的中間位置的外徑。

4.根據權利要求1所述的一種便于取出硅片的硅片存放裝置，其特征在于，所述翻蓋(3)的三個側邊均設置有翻邊，且翻蓋(3)的內寬與活動箱體(1)的外寬相同。

5.根據權利要求1所述的一種便于取出硅片的硅片存放裝置，其特征在于，所述隔板(6)的寬度與固定箱體(2)的寬度相同。