[實(shí)用新型]壓電式麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820294059.X
• 申請(qǐng)日: 2018-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207854171U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 繆建民;陳欣悅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微聯(lián)傳感科技有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，包括：襯底；

設(shè)置在所述襯底上的壓電振膜，所述壓電振膜與所述襯底之間形成有懸空腔；

設(shè)置在所述懸空腔下方的聲孔，所述聲孔縱向貫穿所述襯底，且

所述聲孔的橫截面積小于所述壓電振膜的橫截面積；

所述壓電振膜包括至少兩個(gè)諧振頻率不同的組成部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

每個(gè)所述壓電振膜的組成部分的諧振頻率均不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電振膜的組成部分的大小、形狀和厚度中的一項(xiàng)或多項(xiàng)不同。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電振膜包括主振動(dòng)部、至少一個(gè)弧形附振動(dòng)部以及至少一個(gè)弧形懸空開(kāi)口；

所述弧形懸空開(kāi)口設(shè)置在所述弧形附振動(dòng)部和所述主振動(dòng)部之間，所述弧形懸空開(kāi)口與所述弧形附振動(dòng)部一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述弧形懸空開(kāi)口包裹所述弧形附振動(dòng)部的弧形邊緣；

所述弧形附振動(dòng)部和部分所述主振動(dòng)部間隔分布在所述壓電振膜的邊緣，且所述弧形懸空開(kāi)口的兩個(gè)端點(diǎn)位于所述壓電振膜的邊緣；

所述主振動(dòng)部以及至少一個(gè)弧形附振動(dòng)部中，至少有兩個(gè)振動(dòng)部的橫截面積不相同；

所述壓電振膜為中心對(duì)稱圖形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

當(dāng)所述弧形附振動(dòng)部的數(shù)目大于或等于2時(shí)，所述壓電振膜的對(duì)稱中心位于所述主振動(dòng)部上，任意相鄰兩個(gè)所述弧形懸空開(kāi)口的兩個(gè)端點(diǎn)連線的中點(diǎn)與所述壓電振膜的對(duì)稱中心之間的連線的夾角相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電振膜為圓形。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電振膜為正多邊形，且每條邊上分布相等數(shù)量的所述弧形附振動(dòng)部。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述弧形懸空開(kāi)口包括兩條弧度相同的平滑弧線，以及所述兩條弧度相同的平滑弧線之間的間隙；

弧長(zhǎng)較小的所述平滑弧線與對(duì)應(yīng)的所述弧形附振動(dòng)部的弧形邊緣重合；

所述平滑弧線為正圓的一部分或者橢圓的一部分；

所述平滑弧線為半圓、優(yōu)弧或者劣弧中的任意一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電振膜包括壓電材料；

形成在所述壓電材料第一表面的第一電極；

形成在所述壓電材料第二表面的第二電極。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓電式麥克風(fēng)，其特征在于，

所述壓電式麥克風(fēng)還包括信號(hào)處理模塊，所述信號(hào)處理模塊的信號(hào)輸入端與所述第一電極和所述第二電極電連接，用于對(duì)所述壓電振膜的第一電極和所述壓電振膜的第二電極之間的電位差進(jìn)行處理并輸出。