[實用新型]一種混裝結構的蒸鍍行星鍋有效

申請號：	201820292364.5	申請日：	2018-03-02
公開（公告）號：	CN207958484U	公開（公告）日：	2018-10-12
發明（設計）人：	王玉泉	申請（專利權）人：	丹東英普朗特科技有限公司
主分類號：	C23C14/24	分類號：	C23C14/24;C23C14/50
代理公司：	沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234	代理人：	俞魯江
地址：	118009 遼寧省丹***	國省代碼：	遼寧;21
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	行星硅晶圓支撐臂蒸鍍本實用新型蓋板鍋蓋自轉承片混裝通孔支架坩堝蒸發電子束轟擊電機帶動外側設置支架固定轉軸軸抵接轉軸電機軌道加工保證
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【權利要求書】：

1.一種混裝結構的蒸鍍行星鍋，其特征在于：包括電機、支架、支撐臂、行星鍋及坩堝；電機帶動支架旋轉，支撐臂的一端與支架固定，支撐臂的另外一端與行星鍋的轉軸軸接；行星鍋在軌道上自轉；電子束轟擊坩堝內的源，源內物質均勻蒸發到即公轉又自轉的行星鍋內，從而均勻蒸發到固定在行星鍋內側的硅晶圓上；行星鍋上設置多個通孔，所述通孔內設置承片圈，硅晶圓設置在所述承片圈內的凸臺上，硅晶圓的外側設置蓋板，所述蓋板外側與鍋蓋抵接；所述鍋蓋固定在行星鍋轉軸上；所述鍋蓋內側設置彈片，所述彈片的位置與蓋板的位置對應。

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