[實用新型]一種離子源燈絲導電支架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820292361.1
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN207852612U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 王玉泉
• 申請（專利權(quán)）人: 丹東英普朗特科技有限公司
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/32
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本實用新型公開一種離子源燈絲導電支架，包括連接桿、連接帶、導電桿，所述連接桿上部設置電極孔，燈絲的電極插入所述電極孔內(nèi)；連接桿的下部與連接帶的上部固定，連接帶的下部與導電桿的上部固定，導電桿的下部固定在圓形基座上；所述連接桿通過固定座固定在源體腔上；連接桿的下部設置圓柱形腔體，導柱嵌入所述圓柱形腔體內(nèi)，導柱的下端插入導電桿上部的滑動腔內(nèi)；連接帶的長度大于連接桿與導電桿間的距離。本實用新型的優(yōu)點是：由于采用了分體式的結(jié)構(gòu)，連接桿固定在源體腔的側(cè)壁上減小了溫度帶來的尺寸變化；而導柱的設置保證了連接桿與導電桿的同軸，由于連接桿固定在源體腔上，導電桿固定在圓形基座上，因此保證了源體腔的徑向位置固定。

技術領域

本實用新型涉及半導體裝備技術，具體說是一種離子源。

背景技術

離子源是通過向弧光室主陰極加壓，將充入弧光室的惰性氣體經(jīng)輝光放電電離成等離子體，經(jīng)離子光學系統(tǒng)引出帶正電的離子束，經(jīng)過下游端的中和陰極向離子束發(fā)射與束電流等量的電子流進行電荷中和，生成高能高速的中性離子束。

弧光室的上方為發(fā)射面板，發(fā)射面板的中心設置條形槽，氣體自弧光室的側(cè)板上的氣體入口進入后，被燈絲(filament)電離后形成等離子體，最后經(jīng)上方的發(fā)射面板輸出；現(xiàn)有技術的燈絲固定方式一般采用將燈絲的電極插入導電支架上的燈絲孔內(nèi)，導電支架固定在源體腔的外側(cè)；由于工作時，源體腔的溫度極高，造成導電支架的尺寸發(fā)生變化，進而影響了燈絲的定位，最終影響了電離效果。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種導電支架，可有效解決上述技術問題。具體技術方案如下：

一種離子源燈絲導電支架，包括連接桿、連接帶、導電桿，所述連接桿上部設置電極孔，燈絲的電極插入所述電極孔內(nèi)；連接桿的下部與連接帶的上部固定，連接帶的下部與導電桿的上部固定，導電桿的下部固定在圓形基座上；所述連接桿通過固定座固定在源體腔上；連接桿的下部設置圓柱形腔體，導柱嵌入所述圓柱形腔體內(nèi)，導柱的下端插入導電桿上部的滑動腔內(nèi)；連接帶的長度大于連接桿與導電桿間的距離。

所述連接帶為弧形。

所述連接帶片狀的弧形。

本實用新型的優(yōu)點是：由于采用了分體式的結(jié)構(gòu)，連接桿固定在源體腔的側(cè)壁上，因此，連接桿的位置固定；連接桿的材料為鉬，連接帶的材料為銀，這樣，將隨溫度變化小的材料設置在源體腔上并與燈絲直接固定，減小了溫度帶來的尺寸變化；而導柱的設置保證了連接桿與導電桿的同軸，由于連接桿固定在源體腔上，導電桿固定在圓形基座上，因此也保證了源體腔的徑向位置固定。

附圖說明

圖1為離子源的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為導電支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1為圓形基座，2為源體腔，3為弧光室，4為發(fā)射面板，5為條形槽，6為氣體進口端，7為定位凸臺，8為拉簧，9為固定桿，10為燈絲支架，11為固定座，12為連接桿，13為導電桿，14為連接帶，15為導柱。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖具體說明本實用新型，如圖所示，圓形基座1上方設置源體腔2，源體腔2內(nèi)設置加熱坩堝，源體腔2的上方設置弧光室3，弧光室3的最上方為發(fā)射面板4；所述源體腔的上方設置定位凸臺7，所述定位凸臺7上設置通孔，固定桿9穿過所述通孔，固定桿9的上方掛鉤壓在發(fā)射面板4的上方，固定桿9的下方與拉簧8連接，拉簧8固定在圓形基座1上；所述固定桿9為多個，沿發(fā)射面板4的縱向軸線對稱設置。